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첨단기술정보

공기압 기기의 오존 열화

전문가 제언: □ 최근에 들어 반도체 제조장치 등에 쓰이는 공기압 기기 통과 시 건조 청정공기에 의한 오존의 발생으로 공기압 기기 내부 고무를 열화 시켜 트러블이 발생되고 있는 사례가　매우 잦아 그 대책으로서 몇 가지 사항을 참고하여 고무재질로서 NBR를 수소화한 수소화 아크릴로니트릴 부타디엔 공중합 고무 HNBR, FKM, EDPM을 사용하는 일이 많다는 내용을 소개하고 있다.

□ 고무제품은 고무탄성이 생명이며 균열로 인한 탄성소실은 소기의 기능소실로 이어진다. 습도가 높은 경우 오존 흡수량이나 표면 열화가 커지므로 고압전류 흐르는 근처나 클린 룸 등의 오존 발생 장치 근처에서 사용하거나 보관하는 것을 피하고 햇볕이 닿는 곳은 다른 장소보다 오존 농도가 높고 탈색될 우려도 있기 때문에 옥외보관 시에 주의하고 옥내 보관 시에는 응력(자중 포함)을 받지 않도록 한다.

□ 사용자와 폴리머 메이커와 고무 가공자간의 협력에 의한 고무소재 개발 및 개량에 대한 지속적인 연구와 그 결과의 데이터베이스 구축이 필요하다고 사료된다.