형상기억합금 박막과 응용기술(Shape memory alloy thin films and their applications)

전문가 제언

□ 형상기억합금으로 된 박막은 극소형의 고성능 기계를 제조하는 데에 핵심적인 기술이며 응용분야는 생명공학, 고도(高度)의 의료기구, 광통신, 정보, 연료전지 등의 발전에 따라 이 분야에서 급속히 확대되어 가고 있고 또한 강력한 액추에이터(actuator)에 대한 요구도 증가되고 있다. 향후에는 다른 분야의 연구자와 협력하여 형상기억합금 박막 액추에이터를 사용한 강력한 장치가 실용화되는 것이 기대된다.

□ 형상기억합금 박막의 화학성분에 대한 최적의 조성과 조성을 쉽게 제어할 수 있는 제조기술인 스퍼터링(sputtering)방법이 실제로 박막을 제조하는 데에 가장 필요한 기본기술로 여겨진다. 그래서 이에 대한 기술 자료의 축적과 연구 개발하는 구체적인 방법을 모색하는 것이 중요하다고 생각된다.

□ 스퍼터링법에 의해서 제작된 형상기억합금 박막은 종래의 압전소자에 비하여 변위 양으로는 50배, 발생력으로는 10배 이상의 성능을 발휘하는 것이 알려지게 되었고 대변위 강력 액추에이터로 기대를 모으고 있다. 구동(驅動)되는 전압도 몇 볼트이하로 해결되기 때문에 반도체회로와 조합시켜 생체 내에서 사용하는 것도 가능하다. 형상기억합금 박막의 특성은 이미 실용적인 수준에 달하였으므로 이에 대한 실제 생산기술의 개발에 심혈을 기울여야 할 것이다.

□ 액추에이터의 안정된 기능과 성능을 발휘하기 위한 신뢰성과 응답성을 높이기 위하여 고온 형상기억합금 박막의 개발은 매우 필요한 상황이다. 특히 박막 프로세스를 이용한 적층막, 경사조성막, 압전재료 등과 조합시킨 하이브리드(hybrid) 막(膜) 등도 액추에이터를 고기능화 시키는 데 크게 기여할 수 있다.

저자

ISHIDA Akira ; SAWAGUCHI Takahiro ; SATO Morio

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2004

권(호)

74(2)

잡지명

금속(A112)

과학기술
표준분류

재료

페이지

145~149

분석자

유*천

분석물

• 형상기억합금 박막과 응용기술.pdf [189,279 byte]

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