ITRS2003을 통해 본 반도체기술 동향

전문가 제언

□ 1992년 미국 반도체공업회(SIA)에 의해 작성된 최초의 로드맵 NTRS (National Technology Roadmap for Semiconductors)이 1998년 세계반도체회의(WSC)에서의 합의에 따라 유럽, 한국, 일본, 대만을 포함한 국제 반도체 기술 로드맵(International Technology Roadmap for Semiconductors, ITRS)으로 발전되었다.

□ ITRS의 발행은 세계 반도체산업을 발전시키기 위해 필요한 기술과제 및 그 목표와 해결책 후보들을 장기간에 걸쳐 명시함으로써, 반도체메이커 각사의 개발목표를 통합하고, 관련 장치와 재료메이커, 대학 및 연구기관에 정보를 제공함으로써 반도체기술을 효율적으로 발전시키는데 목적을 둔다.

□ 새로운 로드맵의 틀을 형성한 ITRS 2001의 개정판인 ITRS 2003에는 2018년을 목표년도로 하여 반도체의 미소화, 집적도의 목표를 제시하고, 이를 위한 기술적 접근방향과 과제들을 구체적으로 명시하고 있다. 제시되는 목표는 패턴미세화의 진행도를 나타내는 “기술 노드(Technology node)"로서 2004년을 기점으로 2008년까지의 DRAM, MPU/ASIC 등의 1/2피치(nm)로 표현되고 있다.

□ ITRS 2003에서는 목표를 달성하기 위한 성능 향상과 제조 코스트다운 과제들을 구체화하고 있고, 반도체공장의 중장기 공장통합(factory integration, FI) 로드맵에 대한 설명을 통해 반도체제조에 관계되는 기본적 사고와 장래방향을 명확히 하고 있어, 사업전략과 실행계획을 수립할 때의 체크리스트로서 유용한 자료를 제공하고 있다.

□ 이 요약문은 양적 제한 때문에 원문을 매우 축약하고 있다. 원문에 삽입되고 있는 기술노드에 따른 여러 도표들(Agile Manufacturing, 공장운용관련 기술요구 표, 제조장치 기술요구 표, 웨이퍼 반송시스템 기술요구 표 및 공장시스템 및 설비 기술요구 표 등)은 관련 업체와 대학․연구기관의 연구에 필요한 정보가 될 것으로 판단된다.

저자

MIZUNO Humio

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2004

권(호)

14(8)

잡지명

Clean technology(N272)

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

39~45

분석자

박*선

분석물

• ITRS2003을 통해 본 반도체기술 동향.pdf [179,250 byte]

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