기능수를 이용한 세정기술(Functional Water in Cleaning Technology)

전문가 제언

□ 사업의 자동화와 전자화가 가속됨에 따라 관련 산업인 전기, 전자, 기계 산업의 정밀부품 및 소재를 개발하는 기술이 날로 발전하고 있으며, 품질 및 기능을 향상시키려는 노력과 함께 후가공 공정인 세정공정 부분도 많은 기술적 진보가 이루어지고 있다.

○ 특히, 반도체 산업이 초고밀도 집적화되어짐에 따라 웨이퍼 상의 미세한 오염물질이 제품의 수율 및 성능에 크게 영향을 미치게 되어 이들을 제거하기 위한 세정기술의 발전도 눈부시게 발전하였지만, 세정공정의 비용이 제조원가의 25~30%에 달하고 많은 환경 유해물질이 배출되는 등 문제점이 대두되고 있는 실정이다.

○ M. Toda 등이 연구하고 있는 다양한 기능수에 의한 세정기술의 개발은 기존의 RCA 세정방법에서 화학약품의 많은 사용량과 다단계의 공정, 화학약품을 세척하기 위하여 소요되는 초순수의 막대한 양 등을 감소시킬 수 있는 방법으로 초고청정(ultra cleaning)뿐 아니라 코스트 면에서도 매우 중요하다.

□ 우리나라에서는 지금까지 세정기술이 여러 제조공정에서 크게 중요하지 않은 공정으로 취급되어 온 것이 사실이다.

○ 우리나라에서는 1999년 9월에 세정기술에 관심이 있는 산업체, 학계,연구계 전문가 28명으로 구성된 산업세정연구회를 조직하여 한국과학재단의 지원으로 연간 6회 이상의 모임을 갖고 연구 발표를 하고 있다.

○ 우리나라가 국제적인 제품 경쟁력을 갖기 위해선 품질 좋고 고부가가치의 제품을 생산하여야 하며, 이를 위해서는 환경친화적이고 세정성이 우수한 세정기술의 개발 도입이 필수적이며, 국내 산학연의 산업세정 전문가들이 힘을 합쳐서 정밀세정기술의 자립을 위하여 적극적으로 노력해야 할 것이다.

저자

Masayuki TODA ; Seiji URYU

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2004

권(호)

70(7)

잡지명

정밀공학회지(A077)

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

888~893

분석자

황*일

분석물

• 기능수를 이용한 세정기술.pdf [172,984 byte]

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