터보분자펌프용 자기베어링의 최근 기술동향(Latest Trend in Development of Active Magnetic Bearings for Turbo Molecular Vacuum Pump)

전문가 제언

□ 지금부터 거의 반세기 전인 1958년 독일인 Becker에 의해 터보분자펌프(Turbo-molecular Vacuum Pump : TMP)가 개발된 이래 1970년대까지는 핵물리학과 표면과학 등 일부 연구 분야에 한해 이용되었다.

□ 1980년대에 반도체산업이 발전하면서 박막기술의 응용과 결부된 공업용으로 공급되기 시작하여 현재는 핵물리학과 표면과학 분야의 연구 뿐 만 아니라 반도체 분야에서 필수적인 장비로 이용되고 있고, 앞으로 역시 반도체산업의 발전과 결부되어 TMP의 제품과 기술수요는 증가할 것으로 예상된다.

□ 일본에서는 1971년 RIKEN(이화학연구소)가 제 1호 시작한 이후 핵물리학, 핵융합실험, 표면과학연구용 등으로 활용이 증대되어왔다.

□ TMP는 특히 일부의 표면과학연구자들로부터 베어링의 윤활용으로 사용되고 있는 유증기(油蒸氣)의 역류문제와 회전에 의한 베어링으로부터의 진동문제가 제기되어 왔다. 이 문제의 해결을 위해 1976년 프랑스의 Leybold사는 세계최초로 완전 비접촉형 자기베어링을 이용하는 TMP를 개발했다.

□ 자기베어링 TMP는 중심축이 고정되어 있고, 날개가 달린 바깥 측의 로터만 회전하는 Outer rotor방식이다. 이 구조는 터치다운베어링의 직경이 커서 트러블요인으로 제조 중단하였다가 1983년 일본의 Seiko정기가 축회전방식의 자기베어링TMP를 개발 제작하게 되었다. 독일에서 개발된 기술이 일본에서 개화한 경우이다.

□ 이 자료에서는 반도체제조프로세스에 이미 도입되고 있는 TMP의 자기베어링(AMB)에 대한 디지털제어기술동향을 다루고 있다. 앞으로 이 제어기술의 진보에 따라 코스트다운과, 회전용 산업기계분야 에의 AMB 응용확대가 기대되고 있다. 국내 관련 연구진의 관심을 촉구한다.

저자

Hirochika UEYAMA

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

일반기계

연도

2004

권(호)

32(7)

잡지명

터보기계(B517)

과학기술
표준분류

일반기계

페이지

432~437

분석자

박*선

분석물

• 터보분자펌프용 자기베어링의 최근 개발동향.pdf [168,988 byte]

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