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첨단기술정보

FPD 제조에서의 정전기의 이용과 대책-액정용 유리기판의 이오나이저에 의한 정전기 대책

전문가 제언: □ 반도체 및 액정유리기판의 제조를 아무리 청정한 환경에서 실시한다 할지라도 취급중의 접촉으로 인하여 정전기가 발생하며, 정전기는 공기중의 불순물 입자를 부착시켜 이로 인한 불량품이 발생하기도 한다.

□ 이오나이저는 음이온으로 대전된 공기를 방출하여 정전기를 중화시켜 제거하는 역할을 하며, 반도체 및 액정유리기판의 제조를 위한 클린룸에서 널리 이용된다. 그러나 코로나방전식의 이오나이저는 전극이 마모되면서 그 자체가 분진발생의 요인이 되기도 하고, X선을 이용한 이오나이저는 취급상의 불편함이 있었다.

□ 일본의 테크노료와는 공장 및 건물의 공기조화기 제조전문회사로서 여기에서 개발한 코로나방전식 이오나이저는 전극으로 특수물질을 개발하여 이의 마모가 거의 없어 반도체제조용의 클린룸에 사용하는 것이 적합한 것으로 보인다.

□ 아울러 이온화 기류방출식 이오나이저는 액정유리기판 카세트내의 액정유리기판 사이의 좁은 틈새에 이온화 공기를 불어넣어 정전기를 제거할 수 있도록 한 획기적인 것으로, 그 이용이 널리 기대된다.