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첨단기술정보

글로우방전 질량분석법 및 글로우방전 발광분광분석법을 이용한 글로우방전 플라스마 특성의 비교연구(Comparative Investigation on The Characteristics of Glow Discharge Plasma using Glow Discharge Mass Spectrometry and Glow Discharge Optical Emission Spectrometry)

전문가 제언: □ 플라스마의 생성에 있어서 방전전류가 10-5에서 1Amp 사이의 것을 글로우방전이라고 하며, 네온(글로우)램프나 네온사인과 같이 우리 생활 주변에서 흔히 쓰이는 조명기구가 글로우방전에 의한 것이다.

□ 글로우방전 질량분석법(GDMS)은 ppb 단위의 미량원소분석에 아주 유력하며, 글로우방전 발광분광분석법(GDOES)는 층상 시료의 조성분석 특히 깊이 분포의 분석에 아주 효과적이다.

□ 특히 RF를 채택한 GDOES는 페인트, 플라스틱과 같은 고분자 및 세라믹과 같은 비전도성의 재료의 분석에 사용될 뿐만 아니라, 박막의 제조나 플라스마 식각에도 널리 이용되고 있다.

□ 본 논문에서 연구자들은 실험을 통하여 GDMS의 이온강도를 결정함에 있어서 플라스마 속에 생성된 분석이온의 수송 과정이 매우 중요한 역할을 한다고 밝히고 그 최적화 조건을 신중하게 결정할 것을 권장하고 있다.