자기력 현미경에 의한 보자력 분포 해석(Analysis of Coercive Force Distribution in Patterned and Granular Perpendicular Media Using Magnetic Force Microscopy)

전문가 제언

□ 최근 반도체장비의 분석장비로 고해상도의 분석장비가 요구되고 있다. 이러한 요구에 합당한 높은 공간 분해능 분석장비의 하나로 주사 탐침 현미경(SPM, Scanning Probe Microscope)이 상용화되어 있다. SPM의 종류로는 전자터널 현상을 이용 STM, 원자 사이의 반데르발스의 힘(van der Waals‘ force)을 이용한 AFM, 자기력(magnetic force)을 이용한 MFM 등 다양한 SPM이 있다.

□ 이러한 SPM은 시료의 국부적 형태(topography), 분광학(spectroscopy), 표면마찰(surface friction), 표면응착(surface adherence) 등에 관한 분석에 이용되고 있다. 금속과 같이 불투명한 시료는 반사광을 이용하여야 하기 때문에 현미경 쪽에서 조명을 보내는 수직낙사(perpendicular irradiation) 조명장치가 있는 금속현미경을 사용한다. 흡수나 반사율 차에 의한 대비(contrast)가 생기지 않는 시료는 굴절률 차와 표면의 요철에 따른 위상차를 대비로 바꾸는 위상차 현미경을 이용한다.

□ 미분간섭 현미경은 위상차 현미경의 단점을 보완한 것으로 투명한 조각이라도 부분에 따라 나타나는 미세한 굴절률 차이를 명암 차이로 바꿀 수 있는 것이다. 위상차 현미경과 미분간섭 현미경은 고정하거나 염색하지 않은 살아있는 세포조직도 관찰할 수 있어 배양세포 관찰 등에 많이 이용되고 있다.

□ 본 연구에서는 수직자장 인가형 자기력현미경(MFM)을 이용하여 CoCrPt 패턴 시료와 과립 CoCrPt-SiO2 수직 자기이방성 박막의 자장을 관찰하였다. 또 시료 중 나노 스케일 보자력 분포를 구하여 보자력의 매핑도 수행하였다. 이 MFM에 의한 자장 매핑은 향후 수직 자기기록, 패턴기록 또는 MRAM 등 나노 자성 장비 개발에 대단히 유용할 것으로 생각되며 앞으로 꾸준한 연구가 진행되기를 기대한다.

저자

S. Ishio ; J. Bai ; H. Takahosi ; H. Saito

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2004

권(호)

28(7)

잡지명

일본응용자기학회지(B192)

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

834~840

분석자

오*섭

분석물

• 자기력 현미경에 의한 보자력 분포 해석.pdf [185,866 byte]

이미지변환중입니다.