□ 탄소로 이루어진 비정질의 DLC 박막은 1970년대의 기초연구단계를 거친 후, 1980년대부터 본격적인 개발이 진행되어 제조방법으로는 PE-CVD, ECR-CVD, 레이저 증착법, 이온빔 스퍼터 등에서 여러 공정 변수의 개선 및 제 3원소의 첨가, 다른 질화물들과의 다층막 형성 등으로 경도, 마찰특성, 내산화성 등의 물성향상이 이루어져 왔다. 최근에는 고체Cs소스를 이용하여 스퍼터링 이온에너지를 정밀하게 조절할 수 있는 NIBS(Negative Ion Beam Sputter)증착법 등이 개발되어 주목을 받고 있다. 고경도, 저마찰마멸도, 화학적 안정성, 생체친화성 등 많은 장점에 의해 DLC는 하드디스크, 복사기 드럼(IBM, HP, Xerox, Cannon), PCB용 마이크로 드릴(Toshiba Tungalloy), 안경용 렌즈(Hoya), 면도날(Gillete), 선글라스(Diamonex) 등의 광학기기 및 내마멸 윤활코팅 등의 용도로 사용범위가 큰 폭으로 확대되고 있다.
□ 우리나라도 1980년대 서울대, KIST 등을 중심으로 한 기초연구, 1990년대 KIST, 한국생산기술연구원 등을 중심으로 한 응용연구 및 VCR 헤드 드럼과 헤드 생산을 시작으로 하는 대우전자, 삼성전자, LG전자 중심의 본격적인 상용화연구가 진행되어, 현재는 반도체 패킹 관련 공구의 내마멸 코팅, FED용 cold cathode, 디젤엔진 부품, IR 광학소자, 하드디스크 보호막, MEMS 윤활, 고분자재료의 DLC막, 우주산업용 건식윤활, 차세대 자동차 엔진 부품 가공용 절삭공구 개발 등의 각종 공구 및 금형류 등을 중심으로 많은 연구가 진행되고 있다.
□ 향후 DLC 박막의 응용범위 확대를 위해서는 고온에서의 흑연화, 황화물 기판 등에 대한 접착불량, 고잔류 압축응력에 의한 막의 박리, 증착 시 막 표면의 거칠기 조대화 등의 문제를 해결해야 한다. 또한 효율적 공구재료 및 무윤활 절삭으로의 요구특성인 인성, 고경도, 내마멸성, 피로강도를 비롯한 기계적강도 외에 내열성, 내산화성, 피가공물과의 친화성 등의 물리․화학적 특성 및 광투과성 등 광범위한 영역에서의 요구조건을 만족시킬 수 있는 고효율성 재료개발에도 많은 투자가 있어야 할 것이다.
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