터보분자 펌프의 역사와 전망(Past and Future of the Turbomolecular Pump)

전문가 제언

□ 터보분자 펌프(Turbomolecular Pump, TMP)는 수천~수만 rpm의 고속으로 회전하는 회전자의 날개들이 그들의 영역으로 들어온 기체분자를 쳐서 그 운동방향을 펌프의 배출구방향으로 향하게 하여 배출시키고 진공상태를 얻는 시스템이다.

□ 이 펌프는 거의 반세기 전인 1958년 독일인 Becker에 의해 개발된 이래 1970년대까지는 고진공을 필요로 하는 핵물리학, 핵융합, 표면과학 등 일부 연구 분야에 한해 이용되었다.

□ 산업적으로 응용되기 시작한 것은 1980년대에 반도체산업이 발전하면서 박막기술의 응용, 진공증착(sputtering)과 결부된 공업용으로 공급되기 시작하여 현재는 진공응용연구 분야뿐만 아니라 반도체 분야에서 필수적인 장비로 이용되고 있고, 앞으로 역시 반도체산업의 발전과 더불어 제품과 기술수요는 증가할 것으로 예상고 있다.

□ 국내에서는 1980년대 후반 정부의 극한기술 연구개발사업의 일환으로 초고진공 기술개발이 추진되면서 터보분자 펌프, 크라이오 펌프 등 고진공발생장치에 대한 연구가 연구소 수준에서 이뤄진 바 있으나 산업에서 실용화단계까지는 이르지 못한 상황이다.

□ 이 자료는 터보분자 펌프의 개발과 기술적 발전과정을 자세히 해설하고 있다. 또한 앞으로 이 펌프산업기술의 전망이 주로 반도체산업의 발전과 연계되고 있음을 밝히고 있다. 내용들이 산업계응용보다 대학 또는 대학원과정에서 터보분자 펌프에 대한 이해와 지식을 넓이는 데 이용할 수 있는 자료로 적합하다.

저자

Tadashi SAWADA

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

일반기계

연도

2004

권(호)

47(3)

잡지명

진공(C040)

과학기술
표준분류

일반기계

페이지

99~103

분석자

박*선

분석물

• 터보분자 펌프의 역사와 전망.pdf [173,827 byte]

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