플라즈마 CVD법에 의한 경질피막 제작과 금형 수명개선(Properties of Hard Coatings and its Applications for Metal Forming Processes : Preparation of Hard Coatings by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition and Their Application to Dies)

전문가 제언

□ Oriental Engineering사의 PCVD법은 확산경화와 경질피막코팅의 복합처리를 진공 파괴 없이 한 번의 공정으로 하나의 장치에서 저온에서 밀착성이 좋은 다양한 경질피막을 균일성 좋게 피복할 수 있어서 앞으로 냉간가공의 무윤활화 및 온·열간가공의 무이형제화에 크게 공헌할 수 있다고 생각된다. 동사는 올해 상반기에 수요증가에 따라 전체의 처리능력을 40%정도 끌어올렸으며, 이제까지 내마모성, 내열성, 윤활성 등의 기능을 겸비한 7종류의 경질 피막을 실용화하고 있었지만, 최근에는 발수성을 높인 것을 추가해, 다양화하는 사용자의 요구에 효과적으로 대응하고 있다. 향후에는 TiN막 제조 시에 사용되는 염화물계 가스인 TiCl4는 마찰계수 저하에 효과적이지만 맹독성 염소가 함유되어 있으므로 이에 대한 대책과 아울러, 형성피막의 대상도 Ti계 세라믹스 뿐 만이 아니라 Ti계 이외의 세라믹스로 다양화하여 개발되어야 할 것이다.

□ 우리나라도 최근, 마그네트론 스퍼트링 증착에 의한 초고경도 Ti/B/C와 Ti/B/C/N 코팅막의 미세구조 및 기계적 특성 연구, 반응성 마그네트론 스퍼터링 공정을 통해 제조한 Ti/O/N박막의 특성연구, PCVD법에 의해 증착된 Ti/Si/C코팅막내의 Si 함량과 증착온도에 따른 미세경도와 탄성계수 변화, WC-Co 모재에 대한 Co 및 Ti 중간층을 가진 TiN 박막의 밀착특성 비교 등의 Ti계 박막형성연구와 함께 ICPCVD법을 이용한 SnO2 박막의 광학적 특성, RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제작된 MgN 박막의 건습반복환경 하에서의 부식특성 등 다양한 연구가 진행되고 있다.

저자

K. KAWATA

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2004

권(호)

45(518)

잡지명

소성과 가공(C216)

과학기술
표준분류

재료

페이지

153~157

분석자

조*제

분석물

• 플라즈마 CVD법에 의한 경질피막 제작과 금형 수명개선.pdf [185,927 byte]

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