인터디지털센서와 트렌스듀서(Interdigital sensors and transducers)

전문가 제언

□ 각종 계측에 이용되는 인터디지털 센서(interdigital sensors)와 인터디지털 트랜스듀서(interdigital transducers)는 감지전극이 빗살 또는 머리빗 모양의 전극을 교차하여 배치시킨 평면구조로 되어있다. 이를 측정하고자 하는 시료 속에 삽입하거나 시료표면을 스캐닝(scanning)하여 전극사이의 커패시턴스(capacitance)와 컨덕턴스(conductance)가 변하는 것을 측정하여 재료의 특성을 조사하는데 이용된다.

□ 비파괴용 센서나 압전음향 트랜스듀서(piezoacoustic transducer)의 경우에 센서의 한쪽 면으로만 감지되어야할 필요가 있다. 이러한 요구조건에 부응할 수 있는 센서가 인터디지털 센서이며 센서의 감지 면을 넓게 하거나 감지선 가지 수를 많게 하여 또 그들 사이의 간격을 변화시킴으로서 출력의 강도를 조절할 수 있다.

□ 이러한 인터디지털 센서와 트랜스듀서는 비파괴시험, 습도 이미지 작성, 화학성분 측정, 미생물 측정, 미세한 힘이나 미소 입자의 운동 그리고 각종 프로세스 제어에 사용된다. 시험재료의 내부에 센서를 넣지 않고 수 나노미터로부터 미터 범위의 거리와 여기주파수(exciting frequency) 수 마이크로 Hz로부터 수 GHz에서 기체, 액체, 고체 또는 혼합 시스템의 재료에서 측정이 가능하다.

□ 인터디지털 센서를 사용할 때의 장점은 시험재료를 센서의 한쪽 면으로 측정한다는 것, 예민한 센서피막을 활용할 수 있다는 것 또 여기주파수의 변경에 의한 스펙트럼 획득과 침투깊이의 변화를 통한 영상획득을 쉽게 할 수 있다는데 있다.

□ 이 논문에서 인터디지털 센서의 구조와 동작원리 그리고 응용분야를 잘 설명하고 있다. 이러한 센서의 제작회사나 관련 연구소에서는 정리된 좋은 연구 자료이다. 특히 여기에 인용된 참고문헌은 194편에 달하고 있어 이 분야의 문헌을 모두 수집한 듯함으로 이의 활용을 기대해 본다.

저자

Mamishev, AV; Sundara-Rajan, K; Yang, F; Du, YQ; Zahn, M

자료유형

원문언어

영어

기업산업분류

정보통신

연도

2004

권(호)

92(5)

잡지명

PROCEEDINGS OF THE IEEE

과학기술
표준분류

정보통신

페이지

808~845

분석자

양*덕

분석물

• 인터디지털 센서 와 트랜스듀서.pdf [245,333 byte]

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