SOI 기술을 이용한 고온 환경용 마이크로센서 시스템(Microsensor Systems for High Temperature Environment Based on SOI Technology)

전문가 제언

□ 실리콘은 자동차, 항공기, 우주선, 선박의 엔진 부의 구동 및 제어에 사용되어 왔고 전기전자 냉각기 등의 접착 및 코딩 몸체 처리에도 이용되며 운송 체의 성능향상과 안정성 및 고급화에도 큰 역할을 담당하고 있다. 실리콘이 최초로 전기 및 에너지 기구의 절연에 활용되어 에너지 분야의 고급화와 고 효율을 이룩하였고 그 수요는 더욱 증가하고 있다.

□ 실리콘 고무는 사무용기기, 전기, 전자, 통신 가전제품 등의 신뢰도를 향상시키고 내열, 내후, 내한, 내유성, 내화학성과 우수한 전기적 절연 특성으로 산업 활동에 필수적인 재료로 선택되고 있다. 주요제품으로는 자동차용 실리콘 고무, 에너지 산업관련용, 사무용기기분야 등이 있으며 실리콘 제품은 전자부품 및 각 시스템에서도 널리 사용되고 있다.

□ 집적회로 MEMS 소자의 기판재료로 사용되고 있는 SOI(Silicon on Insulator)는 아주 미세하고 고속이 필요한 LSI기관에 활용될 뿐만 아니라 센서에도 활용이 되고 있다. SOI 재료를 이용하여 만든 소자의 특징은 디바이스 형성층(활성층)이 되는 얇은 막의 실리콘 층의 절연체에서 전기적으로 분리되어 얻어진다.

□ SOI 기술이 고온 환경에서 잘 견디는 것을 응용해서 자동차용 내 고열 센서 소자에 응용할 수 있다. VLSI용 기판에 이용되는 SOI기판은 보통 SIMOX(Seperation by IMplanted OXygen)기술이나 직접접합기술(Silicon Direct Bonding)로 그 단결정 막을 활성층에 이용해서 CMOS 디바이스 구조를 제작한다. 실리콘 활성층의 막 두께는 수십에서 수백 nm정도로 된다. 각종 SOI기판을 재료로 하는 센서를 제작함으로써 지금까지 기술로 만들 수 없었던 고온에서 이용할 수 있는 디바이스 제작이 가능해졌다.

□ Ishida와 Takao는 각종 SOI형 실리콘 마이크로센서를 소개하고 SOI 구조를 이용한 높은 내 고온성 센서에 대해서 소개하였다. 또한 SOI 기판의 특징과 센서 재료의 응용에 관해서도 기술하고 있다. 향후 집적 회로 분야에서 SOI 기술 발전은 고온에서 이용할 수 있는 센서가 더욱더 개발되어 자동차 분야 등 여러 분야에서 활용될 것으로 기대한다.

저자

Makoto ISHIDA ; Hidekuni TAKAO

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2004

권(호)

55(1)

잡지명

표면기술 (C135)

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

10~16

분석자

오*섭

분석물

• SOI기술을 이용한 고온환경용 마이크로센서 시스템.pdf [194,660 byte]

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