고전기저항 헤테로-어모포스 막의 이방성자계와 GHz대 고주파투자율(Anisotropy Field and GHz Permeability of Hetero-amorphous Films with High Resistivity)

전문가 제언

□ 새로운 정보통신 기능재료의 하나인 고주파 전기-자기 변환재료 제조기술은 최근 사용주파수가 GHz영역으로 진입하면서 새로운 연자성 박막의 개발이 필요하게 되었다. 사용처는 DC-DC converter, RF-집적회로용 inductor, transformer, 고주파용 noise를 줄이는 EMC micro 자기 device등의 부품이나 재료이다. 그러나 주파수가 높으면 여러 가지 resonance현상(궁극적으로는 강자성 자기공명현상이 일어나는 주파수이상의 주파수에서는 사용 불가) 때문에 현재의 박막은 사용하지 못한다.

□ 이러한 사용 주파수 영역은 고주파영역으로 확장하기 위해서 이 논문에서와 같이 oxide나 nitride로 둘러싸인 강자성 입자를 만들어서 전기 저항을 높이고 ferromagnetic 특성을 가진 소위 composite 박막을 만드는 연구를 하고 있고 이연구도 그 중의 하나이다. 이 연구에서 특징으로 하는 것은 이때까지 composite 박막제조 시 target를 composite로 만든 한 개의 target를 쓰지 않고 3가지 독립적 target를 써서 각층을 정확하고 원하는 대로 입자 크기를 조절하고 또 산화물의 두께를 조절해서 후속 열처리 없이 만들기 때문에 열처리 때문에 생기는 입자가 커지고 입자크기가 서로 달라지는 현상을 줄여서 지금까지 발표된 것 보다 약간 더 우수한 박막을 만드는데 성공한 것 같고 특성도 보다 우수한 것으로 생각된다.

□ Inductor를 사용하기위해서 hard axis 방향으로 patterning 하면 사용 주파수가 더 올라갈 수도 있지만 이점은 실험해 보아야 확실히 알 수 있을 것이다. 이것의 장점은 B type에서 보인 것처럼 저항이 크면서도 Hk가 크다는 점이다. 이는 주파수를 늘이는데 매우 중요한 점이다.

□ 현재 연자성 박막재료의 기술개발단계는 일본이 가장 앞서고 있으며, 그 뒤를 미국, EC, 한국, NICs가 따르고 있다. 일본은 2000년에, 미국은 2002년에 실용화 단계에 들어가고, EC는 2005년, 한국은 2005년 이후에 실용화 단계에 들어갈 것이라고, “2010년을 향한 과학기술발전 장기계획”에서 과학기술정책연구원이 예측하였으나, 이 시점에서 중간 점검을 해 볼 때이다.

저자

M. Munakata ; M. Yagi ; Y. Shimada

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2004

권(호)

28(3)

잡지명

일본응용자기학회지(B192)

과학기술
표준분류

재료

페이지

200~208

분석자

최*수

분석물

• 고전기저항 헤테로-어모포스 막의 이방성자계와 GHz대 고주파투자율.pdf [213,540 byte]

이미지변환중입니다.