HARD DISK 제조공정의 청정도 관리

전문가 제언

□ 가전제품, 정밀기계, 의료기기 등 Biotechnology, Nanotechnology로 대표되는 첨단공업 분야의 핵심을 이루는 HDD의 제조현장을 초청정실로 유지하여 수율을 높이고 제조원가를 절감시키는 것이 세계적인 과제가 되고 있다. 그러나 ULPA, HEPA 필터를 통하여 청정실로 유입되는 공기는 청정하다. 하지만 청정실 내에서 제조장비, 운반기기, 저장 제품 그리고 작업자의 작업복 등 제조행위에서 접촉, 마찰, 분리, 세정, 건조, 박리 등 정전기가 발생되어 미세부유 먼지들 특히 PM10 이하의 것들이 대전되어 디바이스를 파괴하고, 디스크에 침착되어 불량을 일으키고, 컴퓨터지원 기기들을 오동작 시켜 제품을 유보시키고 있다.

□ 이 원인이 정전기임이 밝혀졌으며, 특히 2㎛이하의 미세부유 입자는 브라운 운동으로 청정지역으로 확산하여 오염시키고 있다. 정전기가 있는 지역의 표면부착성이 정전기가 없는 경우보다 100배나 된다. 이 정전기를 제거하기 위해서는 이오나이저가 가장 적합한 것으로 판명되었으나, 이오나이저도 그 전극형태와 재질에 따라서 효율에 차이가 많으므로 전극의 재질과 모양에 대한 기술 개발과 아울러 전극주의를 초청정(0.1㎛이하)하기 위하여 cease air를 이용하는 기술을 개발하여야 한다.

저자

Asada

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2004

권(호)

14(3)

잡지명

Clean technology(N272)

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

29~35

분석자

박*서

분석물

• HARD DISK 제조공정의 청정도 관리.pdf [194,120 byte]

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