LCD 제조에 의한 정전기대책

전문가 제언

□ 초대용량 집적회로(LSI) 또는 액정화면(LCD)과 같은 전자소자 제품은 제조 환경이 정밀하게 친환경적으로 설치되었다 해도 정전기의 영향은 무시할 수 없게 되었다. 이에 따라 실질적인 문제에서 일어나는 정전기 장해를 막기 위하여 정전기 장해 기법을 열거하고 그에 따른 문제점을 제시하였고 기판 유기물오염관리를 통해 정전기대책을 알아보았고 제전장치에 의한 대책도 나타냈다 .

□ 최근에는 유기물에 의한 소자뿐만 아니라 일상생활 에 사용되는 물건에서부터 옷감, 심지어는 약품에 이르기 까지 정전기로 인한 피해를 최대한 방지하기위한 대책으로 연구가 진행되고 있다. 그런 측면에서 이런 정전기 방지기술을 잘 제시하고 있어서 매우 바람직하다고 생각된다.

□ 다만, 정전기의 발생 및 장해 발생이 정량적으로 평가 하고 기본적인 대책 이 좀더 구체화 되었으면 좋겠다. 제전장치로 고성능 광조사 제전 장치가 USX와 같은 공기 중에서 사용하는 장치라든지 불활성 가스 중에서 사용하는 VUV 제전 장치 등의 고성능 장치 등이 개발되고 있는 실정 이지만 주변 분위기의 청정도 문제를 악화 되는 경향으로 입자 오염방지 목적에는 부적합한점이 있다. 진공자외선 제전 장치에 관해서는 진공도가 고진공일수록 좋은데 코스트가 비싸 일반화하기가 무리하고, 좀더 다른 방법이 연구 되어야 할 것으로 생각된다.

저자

Inaba Hitoshi

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2004

권(호)

14(4)

잡지명

Clean technology(N272)

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

26~32

분석자

김*수

분석물

• LCD 제조에 의한 정전기대책.pdf [251,880 byte]

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