미소 하중 하에서의 트라이볼로지(Tribology on Micro Electro Mechanical System(MEMS) : Tribology under extremely low loads)

전문가 제언

□ 미끄럼마찰에는 건조마찰, 유체윤활 경계윤활로 구분되는데, 이중 건조마찰의 경우 별도의 윤활제를 가하지 않았다하더라 상대접촉운동에서는 마찰면에 대기 중의 수분이나 오염물질로 덮어씌우게 된다. 따라서 마찰력에 영향을 미치며, 마찰계수는 표면상태에 따라 민감한 반응을 보인다.

□ 마찰계수를 아주 작게 하려면 우선 마찰하는 상대의 표면상태를 충분하게 검토하여야 한다. 첫째로 표면경도, 표면거칠기, 직진도, 원통도, 진원도 등에 대한 것이 얼마나 정확하고 정밀하게 가공되어 있는지를 조사하여야 한다. 아무리 적은 하중이라 하여도 상기 조건에서 문제가 있다면 처음부터 다시검토를 하여야 한다.

□ 면 접촉보다 구름 접촉(선 접촉, 점 접촉)이 마찰계수가 훨씬 작지만, 구름 접촉에서 예견되는 탄성변형은 하중이 작은 경우에는 무시할 수 있기 때문에 이러한 기구를 택하는 것이 유리하며, 전자기를 이용하여 부상력으로 고체끼리 접촉을 하지 않게 하는 방법도 있다.

□ 면 접촉의 운동기구가 아주 작거나 복잡할 경우 고체 윤활제인 MoS2과 같은 재료를 합성수지와 조합하여 구성한다면 고체간의 마찰계수는 크게 줄일 수 있다. 또 구름 접촉을 하는 경우에는 소결합금에 윤활유를 함침하여 필요시에 윤활이 되도록 하는 방법도 있다.

□ 실제 마이크로 머신의 사용 환경이 진공인 경우는 극히 드물다. 일반 환경에서 정밀도를 유지하고 신뢰성을 높이기 위해서는 작업장의 청정도와 함께 습도 등에 대한 것도 고려하여야 한다.

저자

Yasuhisa ANDO

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

일반기계

연도

2004

권(호)

49(2)

잡지명

트라이볼로지스트(A058)

과학기술
표준분류

일반기계

페이지

122~127

분석자

마*하

분석물

• 미소 하중 하에서의 트라이볼로지.pdf [186,926 byte]

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