MEMS와 트라이볼로지의 관계(MEMS and Tribology)

전문가 제언

□ MEMS(Micro Electro Mechanical System: 미소 전자기계 시스템)가 개발되어 각종 주요 부문에 응용되기 시작한 이 시기에 대표적인 미세 기계가공법과 MEMS 응용의 광범위한 예를 상세히 설명하고 있다. MEMS의 기술 동향을 이 분야의 연구자나 생산에 참여하려는 사람들에게 제공하여 큰 도움을 줄 수 있는 좋은 자료이다.

□ 압전효과(piezoelectric effect), 형상기억 효과 등 미세 작동기(micro actuator)의 구동원리와 성능 향상을 위한 마찰력의 감소 등의 방법을 상세하게 설명하고 있다. 각종 집적화 시스템을 설명함에 있어서 이상적인 집적화 시스템과 소량 다품종 생산에 적합한 집적화 방법 등을 예를 들어 설명하고 있다.

□ MEMS 산업화에 있어서 중요한 문제점과 과제로는 신뢰성과 수명을 들 수 있다. 이의 해결 방법으로서, 설계의 중요성과 트라이볼로지(tribology)에 관한 지식이 필수적임을 강조하고 있다. 즉, 기술의 핵심이 어디에 있는지를 잘 설명하고 있다.

□ MEMS의 설계와 제조의 산업기반, 사회적 생산기반(infrastructure)으로서 여러 가지 장치나 MEMS를 자유자재로 설계하고, 해석할 수 있는 시뮬레이션 소프트웨어의 정비가 중요하다. 이에 의하여 설계한 MEMS를 제조할 제작 서비스가 가장 중요함을 설명하고 있다.

□ MEMS의 발전에 불가결한 학문인 트리이볼로지의 중요성을 여러 가지 예를 통하여 설명하였다. 미세 작동기의 마찰 감소 방법을 5종류로 나누어 구체적으로 설명하여 MEMS와 트라이볼로지와의 관계를 명확하게 하였다.

저자

Hiroyuki FUJITA

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2004

권(호)

49(2)

잡지명

트라이볼로지스트(A058)

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

112~121

분석자

변*현

분석물

• MEMS와 트라이볼로지의 관계.pdf [182,758 byte]

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