MEMS에 공기베어링의 적용(Application of Molecular Gas-Film Lubrication to MEMS Elements)

전문가 제언

□ MEMS나 마찰공학 요소에서 공기 베어링의 적용과 특성 해석에서 분자 기체 윤활의 해석 방법의 적용과 MEMS의 요소를 분자 기체 윤활 방정식의 적용에서 기체 입자의 거동을 통계적으로 취급하고 초미소 틈새를 매개로 하여 상대운동하는 두개의 물체에서 자기력과 정전기압이 없는 경우에도 상대하는 두 개의 물체에 분자간의 힘과 액체가 개재하는 경우의 메니스커스 력(meniscus power)이 연구되고 있다.

□ MEMS의 요소인 마이크로 모터(micro motor)와 가스 터빈(gas turbine)에서는 마이크로 모터의 지지용 돌기부의 유동면에 발생하는 기체압력을 분자 기체 윤활 방정식을 이용해서 이론계산을 하는 것으로 종래에는 접촉만을 생각하였지만 유동면에서 기체 윤활의 가능성을 나타내고, 역계측법으로 외팔보를 여진시켜 시료면에 가까이 대면, 칩 선단에서 받아들이는 힘의 구배(force gradient)에 의한 외팔보의 진동 특성의 변화를 이용한 힘을 측정하는 방법 등이 있다.

□ 기체의 열통계 작용을 이용한 나노미터 부상 메커니즘으로 마이크로 나노 메커니즘에서는 형상이 매우 작기 때문에 종래에서는 무시하였던 힘이 나타나게 되고 그것을 이용한 마이크로 모터가 제작되고, 관성력이 감소하기 때문에 상대적으로 마찰력이 증대함에 따라 마이크로 영역의 마찰 마모가 연구되고 있다. MEMS와 나노기술에 있어서 공기 베어링의 적용은 시작되었고 향후의 진전이 기대되고 있다.

□ MEMS는 계면 화학의 새로운 재료, 맞춤의 모델링 툴, 새로운 조립기계, 시스템 통합, MEMS의 기술은 자동차, 건강관리, 바이오 기술, 측정 시스템, photonics 광학, 폭발물 검지, 심혈관의 초음파 주사, 항공우주, 정밀 기구 로봇공학 및 환경 모니터링의 산업에 침투하고 있다.

저자

Shigehisa FUKUI

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2004

권(호)

49(2)

잡지명

트라이볼로지스트(A058)

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

134~140

분석자

임*생

분석물

• MEMS에 공기베어링의 적용.pdf [263,782 byte]

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