제3단계 비간섭 레이저 톰슨산란에 의한 플라스마 계측의 개발(Development of the Third Stage Incoherent Laser Thomson Scattering Diagnositcs of Plasmas)

전문가 제언

□ 비간섭 레이저 톰슨산란(LTS, incoherent laser Thomson scattering)이라고 하는 LTS에 의한 플라스마 계측법의 발전을 제3단계로 분류하였다. 이 LTS에 대해서 질적으로 다른 제1단계, 제2단계를 지나서, 새로운 제3단계의 개발로 추진되어 가고 있는 상황을 설명하고 있다. 각 단계에 대한 상황의 정확한 파악과 최종 목표를 파악하는 것이 무엇보다도 중요하다.

□ 제1, 제2단계는 계측법은 이미 완성되어 각각의 상황에 대응한 연구를 하여 충분히 적용할 수 있는 단계에 와 있다. 제2단계의 산업응용 플라스마 계측 LTS에서는 상품으로서 스위치 1개로 전자온도ㆍ밀도의 정보가 온라인으로 표시되며, 가격이 싼 상품으로서 개발되어 있다. 이에 반하여 제3단계는 이제 시작 단계에 있기 때문에 이에 대한 집중적인 자료수집과 연구개발이 필요하다.

□ 불안정한 래디컬(radical)을 포함한 플라스마에서도 계측할 수 있는 CO2 레이저를 사용한 시스템이 구축되는 것을 최종의 목표가 되도록 최대한 노력을 기울여야 한다. 제3단계 LTS가 완성되면 당면의 계측대상으로 되어 있는 유전체 보호방전(DBD, Dielectric Barrier Discharge)에 추가하여, 방전형성과 유지에 중요한 역할을 하게 될 것이다. 이 계측법은 각종 방전이 전극에서부터 10㎛ 정도까지 계측할 수 있도록 기술 개발을 이루어 나가야 할 것이다.

□ 우리가 흥미를 갖고 있는 것은 제3단계 LTS(물체 부근 플라스마 LTS)는 1990년대 후반부터 DBD에 관한 것이다. 이 현상은 19세기 중반부터 알려지게 되었으며 오존생성 등에 널리 활용되어 왔다. 최근에 관심이 높게 된 플라스마 디스플레이 패널(PDP)의 구동과 환경유해 물질을 무해화 하는 프로세스의 개발에 초점을 맞추어 집중적인 연구개발과 기술 축적을 이루어 나가야 할 것이다.

저자

MURAOKA Katsunori ; UCHINO Kiichiro ; YAMAGATA Yukihiko ; MIYAZAKI Koichi

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2004

권(호)

80(2)

잡지명

Journal of plasma and fusion research(N073)

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

101~109

분석자

유*천

분석물

• 제3단계 비간섭 레이저 톰슨산란에 의한 플라스마 계측의 개발.pdf [185,068 byte]

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