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첨단기술정보

반도체 제조장치의 새로운 개념

전문가 제언: □ 국내외 반도체산업이 2003년 후반기부터 회복세를 보이고 있다. 메모리 반도체산업에서 주도권을 상실한 일본 역시 최근 투자의 활황국면을 보이는 추세이다.

□ 일본의 반도체산업 회복세는 설비투자 확대현상으로 나타나고 있고, 장비제조업에서는 90nm의 이후의 나노급 디바이스 가공, 300mm 이상의 웨이퍼 생산에 대응한 장비개발이 이루어지고 있음을 밝히고 있다.

□ 불황기의 일본이 메모리 반도체에서 한국과 미국에 주도권을 상실했으나 일본이 이를 포기한 것이 아니라 나노가공시대라는 새로운 반도체산업 환경에 따른 새로운 개념의 반도체 장치개발을 통해 실지회복을 이루고자 하는 전략을 이 자료에서 제시한다.

□ 저자는 여기서 반도체 제조기술과 제조장치 기술의 협력관계 강화를 특히 강조한다. 나노가공 기술시대에 접어들수록 디바이스 가공에서 제조장치에 대한 의존성이 증대할 것으로 판단하는데 따른 견해이다.

□ 이 자료는 정부의 정책이 아닌 전문가(K. Maeda : (주)반도체프로세스연구소 대표) 의견형태의 기사이지만, 나노기술시대에 진입하고 있는 21세기 반도체 제조장치 산업을 향한 일본의 전략 제시라는 점에서 주목할 필요가 있다.