플라스틱 기판 위의 광학박막

전문가 제언

□ 일본 Olympus 주식회사는 광학박막재료를 다양하게 생산하는 기업체이다. 이 회사의 연구소에서 연구한 내용 가운데 화제가 될만한 것을 발췌해서 연재 특집으로 발행하는 논문이다. 일본회사는 자체에서 연구하는 내용들이 세계의 첨단수준과 견줄만한 내용들이 많이 있으나 기업의 속성상 연구내용의 결과가 기업으로 독점할 자신이 없으면 발표하지 않는다. 이 논문도 미국과 일본에서 특허를 얻어 놓은 내용이다. 진공박막증착이나 스퍼터링에 의하여 금속이나 세라믹 재료에 코팅을 하는 것은 이미 보편화된 기술이다. 그런데 플라스틱에 무기물을 그것도 고온을 요하는 방법에 의하여 박막을 입힌다는 것은 획기적인 기술이라고 할 수 있다. 그런데 기술내용에 있어서 몇 가지 지적해 볼까한다.

□ WO3의 진공증착에서 WO3의 융점은 1473℃이고, W-O의 격자거리는 1.86~1.91Å이다. 그리고 Tungsten Oxide의 조성은 다양하고 물성도 가지각색이다. SiO2는 온도에 따라 구조가 틀리고, 융해점은 1800℃, Si-O의 거리는 1.62Å이다. 그런데 WO3나 SiO2의 증기압이 10-4Torr에 도달하는 온도가 다 같이 1000℃가 되는 것은 약간 이해하기 곤란하다.

□ MgF2의 스퍼터링법에 있어서 MgF2의 해리로 인하여 박막에 불소의 결핍이 생겨 광흡수가 일어나는 것을 Packing Plate를 사용해서 방지한 것은 이 분야의 기술에서 획기적인 아이디어라고 볼 수 있다.

저자

Kawamada Ken

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2004

권(호)

26(2)

잡지명

O Plus E(F039)

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

176~180

분석자

박*학

분석물

• 플라스틱 기판 위의 광학박막.pdf [189,739 byte]

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