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첨단기술정보

고품질 박막 형성용 고속 스퍼터성막 장치

전문가 제언: □ 최근 우리나라도 각종 광학 필터, 유전체 광학 박막 필터 등의 수요가 급증하고 있는데 필요한 특성을 갖는 정밀도의 광학 박막은 아직 개발 중에 있는 것 같다. 본고에서는 고품질의 얇은 광학 박막을 고속으로 형성하는 장치의 특징 및 응용에 대하여 소개하고 있으므로, 특히 박막필터의 개발 연구 및 기술자에게 많은 참고가 될 것으로 사료된다.

□ 종전의 반응성 스퍼터링 방법을 이용하면 고융점의 박막은 쉽게 얻어질 수 있지만, 반응성 가스의 유량 혹은 분압을 임계치 이상으로 높이면 박막 형성 속도의 급격한 저하가 일어나고 동시에 그 변화가 일어나는 점이 경우에 따라 다르기 때문에 커다란 결점이었다. 본고에서는 RAS 장치를 개발하여 종전의 스퍼터링의 단점을 해결하였다고 하므로 금후의 박막 필터의 연구에 도움이 될 것으로 생각한다.

□ 박막의 제작 경향은 최근 기판의 대형화, 박막의 다층화에 의해서 박막구성이 복잡해지고 있다. 이러한 경향에 대응하려면 대형화와 균일한 박막 제작이 고속으로, 또한 정밀한 박막의 두께가 제어될 수 있고, 재현성이 높은 성막 방법이 확립되어야 한다고 생각한다.