최신형 고정밀도 하이레이트 이온 빔 어시스트 증착

전문가 제언

□ 최근 우리나라도 디지털카메라용 광학필터, 유전체광학박막필터 등의 수요가 급증하고 있는데, 대부분은 수입재료에 의존하고 있다고 한다. 본고에서는 고 정밀도의 광학박막필터를 생산하는데 정밀도와 효율이 높은 이온빔어시스트증착 장치를 소개하고 있는데, 많은 참고가 될 것으로 사료되므로 박막분야, 광학분야 및 기계분야의 연구인, 기술자들이 TF팀을 구성하여 신속한 검토와 대책이 마련되기를 기대한다.

□ 광학박막에 많이 사용되는 증착물질 중에서 형성된 광학박막의 성능과 재현성을 평가한 결과 이온어시스트 증착장치에 적합한 물질과 부적합한 물질이 구별된다고 한다. 일반적으로 제품의 제조과정에서 사용하는 장치와 이용하는 물질간의 상관성이 있음을 경험하고 있지만, 광학박막은 높은 정밀도와 생산성이 요구되므로 엄격한 검토가 필요하다고 생각한다.

□ 산화물의 층상구조에서 이온교환에 의해 다른 양이온을 층 사이에 넣어서 층간화합물을 형성시키는 경우가 많다. 층간화합물에서 층 사이에 들어와서 조직화된 다른 양이온과 본래 산화물의 층상구조에서 골격을 이루고 있는 이온과의 상호작용이나 물성의 다양성에 기초하여 새로운 기능을 가진 광학박막필터의 개발도 층간의 이온교환성, 층상과 층간반응에 의해 가능할 것으로 기대된다.

저자

Tou, Suzuki

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2004

권(호)

26(2)

잡지명

O Plus E(F039)

과학기술
표준분류

재료

페이지

149~153

분석자

오*동

분석물

• 최신형 고정도 하이레이트 이온 빔 어시스트 증착.pdf [170,712 byte]

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