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첨단기술정보

*수정진동자 천칭에 의한 클린룸 중의 분자오염 실시간 감시기

전문가 제언: □ 반도체 및 액정의 제조공장에 있어서 클린룸의 청정도는 아주 중요하다. 특히 반도체에 있어서는 그 소자구조도 가공선폭이 100nm 이하가 됨에 따라 분자단위의 오염물질 부착에도 아주 민감하게 되었다.

□ 이번에 개발된 수정진동자 천칭을 이용한 분자오염의 실시간 감시기는 클린룸의 청정도 유지에 크게 기여할 수 있을 것으로 보인다.

□ 이 기술은 히로시마(廣島)대학의 오쿠야마(奧山)교수의 기술지도 아래 그 개발이 이루어졌으며, 훌륭한 산학협력의 예라고 생각한다.

□ 수정진동자 천칭은 다른 분야에의 활용도도 높다. 예를 들면 1996년 12월 4일 발사된 화성탐사선 PATHFINDER호에도 탑재되어, 태양전지가 화성의 먼지에 의하여 그 성능이 어떻게 저하하는가를 측정하고 있다. 또한 유체의 질량, 비중, 점성도, 부식의 측정 및 화학반응, 생의학적 반응의 감시에도 사용되고 있다.

□ 우리나라는 반도체 칩의 공급에 있어서 2003년도에는 금액면으로 세계에서 7%를 차지하고 있다. 이는 우리나라 반도체제조공장 클린룸의 청정도가 그만큼 높아, 생산성이 좋기 때문이라고 생각한다. 그러나 수정진동자 천칭의 사용용도가 많기 때문에 다른 분야에의 활용도 고려해야 한다.