주사형 열 현미경에 의한 정량 온도 영상 계측(Quantitative Temperature Imaging by Scanning Thermal Microscopy)

전문가 제언

□ SThM에 의해 시료 표면의 열전도도 및 온도 분포 영상을 측정할 때 캔틸레버 위의 온도센서로 열전대(온도 측정 정확도 : ±1K)대신 백금저항온도계(PRT, Platinum Resistance Thermometer)를 사용하면 온도 측정 정확도를 ±0.01K까지 향상시킬 수 있으므로 PRT센서를 소형화 하여 사용하는 방법이 개발되어야 할 것이다.

□ 또한 시료 표면 온도 계측의 성능 평가에 있어 정적상태 실험만으로는 부족하며 캔틸레버로 주사 시에 즉 동적상태에서 온도 측정 실험을 해야 할 것이다.

□ SThM은 PVC와 PB 같은 고분자 혼합물 표면의 열전도도와 온도분포영상을 얻을 수 있고 전자소자의 결함분석과 신뢰도 향상에 응용될 수 있다. 앞으로 SThM은 표면의 미세 역학적 성질 연구와 깊이에 따른 온도 영상 기술을 개발하여 3차원 열전도도 및 온도 영상을 얻을 수 있어야 할 것이다.

저자

Osamu Nakabeppu

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2003

권(호)

23(90)

잡지명

Journal of the Visualization Society of Japan(J586)

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

151~156

분석자

이*희

분석물

• 주사형 열 현미경에 의한 정량 온도 영상 계측.pdf [182,788 byte]

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