* 친환경적인 5환 불소 화합물의 제조 기술 개발(The Development of Manufacturing Technology of New Environment-friendly 5 Ring Fluorine Compound)

전문가 제언

□ ‘오존층 파괴물질에 관한 몬트리올의정서’에 따라 CFC, 할론가스 등의 할로겐 화합물 사용을 2010년부터 전폐한다는 방침에 따라, 국내에서는 이들 물질의 사용 공급을 줄이고 있지만 대체 제품에 대한 기술 개발이 늦어지거나 개발 대체 제품에 이차적인 문제가 제기되어 사용이 어려운 경우가 많다.

□ 선진국에서는 CFC 등의 감축과 발맞춰 대체물질을 개발하여 실용화 하고 미개발 지역에 수출하는 등 활로를 개척하고 있다. 우리나라도 KIST 등 여러 곳에서 연구개발에 참여하여 일부 성공하고 있지만 부족한 기술과 실효성 있는 공정 등에 대한 계속적인 연구가 필요할 것으로 알려지고 있다.

□ 원문은 일본 제온사(社)가 독자 기술로 개발하여 생산 중인 5각형 고리(環, ring) 구조를 가진 독창적인 2 종류의 불소 계 화합물, 즉 세정제 및 반도체 제조용 드라이 에칭제(가스)인 불소 화합물에 대한 제품 특성과 용도를 설명하고 있다. 친환경적인 물질로 기존 제품의 대체 이상의 효과가 있는 것으로 발표하고 있다. 경제성에 관한 데이터는 제시되지 않았다.

□ 유사한 제품을 개발하여 선전하는 사례가 많이 있었으나 이차적인 문제나 불완전성 때문에 별로 활용되지 못한 경우가 많이 있으므로, 이들 제품에 대한 사용자 입장에서 보는 효용성과 경제성은 다시 검토해야 할 것이다. 국내의 불소 계 대체 물질의 개발 또는 사용자들은 본 내용을 참조하여 추후의 연구 및 이용에 활용할 수 있을 것이다.

저자

Toshiro Yamada, Noriyasu Otsuki, Tatsuya Sugimoto, Kimiaki Tanaka. Akira Sekiya

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2003

권(호)

32(20)

잡지명

Fine chemicals(E402)

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

13~20

분석자

이*옹

분석물

• 친환경적인 5환 불소 화합물의 제조 기술 개발.pdf [214,395 byte]

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