극저 에너지 이온빔 기술과 재료개발에의 응용

전문가 제언

□ 이온빔분석(ion beam analysis)은 1960년대 초 반도체검출기의 발명과 함께 급격한 발전을 거듭하여 오늘에 이르고 있다. 이온빔 분석의 주요 장비인 정전형 가속기는 그 이전에도 많이 존재하였으나 주로 핵물리 실험용으로 사용되었으며 분석을 비롯한 응용분야에 사용되기에는 검출기술이 너무 불편하였다.

□ 초창기인 1960년대 초에 RBS(Rutherford Backscattering Spectroscopy), Channeling 및 NRA(Nuclear Reaction Analysis) 분석법들이 태동하였으며, 1970년대 초에 PIXE 분석법이 본격적으로 연구되기 시작하였고 1970년대부터 ERD(Elastic Decoil Detection) 방법이 확립되었다.

□ 현재 이온빔분석은 표면 및 표면근처의 분석수단으로서, 현대의 표면과학 및 반도체를 비롯한 박막소재의 특성평가에 필요불가결한 수단으로 자리 잡고 있으며 최근의 초미세 분야의 급격한 발전과 더불어 이온빔분석기술의 활용이 더욱 중요해 질 것으로 예상된다.

□ 이온빔 분석은 박막, 표면 및 벌크시료의 분석에 이르기까지 매우 다양한 용도로 활용되고 있으며, 특히 박막의 특성평가에 있어 이온빔 분석법은 거의 필수 불가결한 수단으로 자리매김이 되어 있다.

□ 미국과 일본, 유럽연합 등 선진국에서는 각 연구기관, 대학별로 이 기능을 확보하고 있는 것이 거의 당연시 여겨지고 있으나, 우리나라의 경우 인식의 부족으로 인하여 그 응용이 미흡한 수준에 머물러 있다.

□ 극저 에너지 이온 빔 기술에 대한 연구와 투자가 절대적으로 필요하며, 이 장비와 기술을 이용한 새로운 재료 개발에 대한 인식확산과 적극적인 정책지원이 절실히 요구된다.

저자

Masato KIUCHI

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2003

권(호)

79(7)

잡지명

플라즈마 핵융합학회지(N073)

과학기술
표준분류

재료

페이지

645~649

분석자

김*돈

분석물

• 극저 에너지 이온빔 기술과 재료개발에의 응용.pdf [187,098 byte]

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