오존수 제조장치

전문가 제언

□ 오존수는 강력한 산화력을 가지고 있어서 살균, 탈취, 유기물의 세정 등 다양한 분야에서 이용되고 있다. 오존은 곧 산소로 복귀되어 보통의 물이 되어 잔류하지 않는다. 현재 살균에 많이 사용되고 있는 차아염소산소다와 같이 잔류 위험성이 없고 사용 후에 물로 다시 세정할 필요가 없는 등 안정성, 편리성, 환경면에서 우수한 살균제이다. 오존은 염소보다 수백 배나 빠른 살균능력을 가지고 있으며, 수중에서도 종래의 염소 계 살균제보다 7배의 살균력을 보유하면서도 잔류성이 없는 무공해 물질이다.

□ 다만 오존은 물속에 포함되는 유기물, 무기물을 산화시키며 자기 분해하기 때문에 불완전하여 오존수의 반감기는 길어도 수십 분간 밖에 되지 않는 단점이 있으며 오존의 농도도 경시 변화를 하기 때문에 필요한 개소의 필요한 시점의 농도 유지가 어려운 문제점이 있다.(오존농도 반감기 : 공기 중에서 10~15시간, 물 속에서 20~30분)

□ 반도체 웨이퍼의 세정에는 미국 RCA가 개발한 RCA법과 약품을 조합한 방식이 현재도 사용되고 있지만 대량의 유독 약품을 고온에서 사용하므로 오존수 세정 방법을 적용하는 회사가 늘어나고 있다. 최근에는 오존수의 농도를 200ppm 이상으로 연속 제조할 수 있는 장치가 상업화되고 있으며 반감기를 5~10시간 까지 연장하는 기술도 발표되고 있다.

□ 일본의 한 오존수 제조장치 메이커가 제조 장치 현황과 금후의 발전방향, 오존수 제조 장치에 관한 기술을 소개한 것이다. 국내의 오존수 장치 제조업체 및 사용업체 등에서 제품의 개발과 장치 선정 등에 참조하면 유익할 것이다.

저자

Kato Masaaki

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2003

권(호)

42(8)

잡지명

전자재료(A124)

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

54~58

분석자

이*옹

분석물

• 오존수 제조장치.pdf [182,772 byte]

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