초순수 및 고순도약액 중의 금속이온 제거필터

전문가 제언

□ 최근 일본은 Hitichi 금속(주) 등이 티탄판에 비해 20∼50%의 가격이 저렴하며 내구성 및 강성이 뛰어나고 재사용이 가능한 광촉매기능을 가진 세계 최초의 스테인레스계 금속필터를 개발했으며, 일본원자력연구소 등은 고분자중합체에 전자선 조사에 의한 그라프트 중합으로 납 등의 중금속 이온을 공정변수 조정에 의해 선택적으로 흡착·분리하는 재료기술의 실용성을 확인했다.

□ 또한 섬유소재에 방사선 조사 후 단량체와 접촉시킨 다음 그라프트 측쇄에 관능기를 도입하여 기존 소재의 특성을 손상하지 않고 이온이나 탈취성분의 흡착기능을 도입하여 기체의 처리는 물론 용액중의 이온의 선택적 분리, 미립자 제거 등의 기능을 단독 또는 복합화하여 이용할 수 있는 여과기를 개발하였다.

□ 우리나라도 반도체 제조 공정에 쓰이는 초순수 제조용 역삼투 필터의 양산화체제 구축, 십자형흐름 여과방식 및 막힘형 여과방식을 자동제어하는 중공사 분리막 수처리 시스템 및 공정, 마이크로파를 이용한 나노 조립된 무기소재 박막의 제조공법, 생물막 활성탄과 마이크로필터모듈을 이용한 오폐수 고도처리장치, 연료전지의 분리막 조립체, 복합 분리막 모듈을 이용한 폐수처리장치, 분리능이 있는 수소이온교환 복합막·복합용액·그 제조방법, 나노 분산기술을 바탕으로 폴리에스터 중합과정에서 실리카 첨가로 결정속도를 극대화하고 내열성을 개선한 PBT 대체소재인 고결정성 PET 개발 등의 분리막에 대한 기초연구 및 상용화 확대가 활발히 추진되고 있다.

□ 현재 반도체·LCD 공정의 고집적화 추세에 따라 초순수의 고성능화가 절실히 요구되고 있으며 중금속, TOC, 미립자, 생균 및 용존산소 등의 규제항목 또한 매년 증가하고 있으며 이에 대한 대응책도 중요해지고 있다. 한편, 반도체산업의 특성에 의해 배수 처리비용 증가와 환경규제 강화에 따라 순수 제조장치 기업은 초순수 제조뿐만 아니라, 재활용 시스템까지 고려해야 한다. 또한 반도체 생산용 초순수 제조 장치는 실험용, 의료용 등과는 비교 되지 않을 정도로 대규모 시스템이므로 시스템 전체의 간소화 및 비용절감의 필요성도 절실하다.

저자

Hashimoto, Komutsu

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2003

권(호)

42(8)

잡지명

전자재료(A124)

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

49~53

분석자

조*제

분석물

• 초순수 및 고순도약액 중의 금속이온 제거필터.pdf [526,409 byte]

이미지변환중입니다.