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첨단기술정보

수열합성 PZT박막을 이용한 초음파 센서의 수중에서 성능평가

전문가 제언: □ 수열합성법은 티탄기판 상에 단시간에 안정한 PZT 다결정막을 성막하는 방법으로서, 수열합성장치의 회전 교반기 상에 티탄기판을 장착하면서 성막 종료 시에 용기 내 온도가 80℃이하로 낮아지기 전에 용기내의 압력을 낮춰 산화은 불순물의 생성을 방지하는 방법이다.

□ 시작 초음파센서의 PZT 박막의 두께는 약 200마이크론으로 종래 수열합성법은 수㎛~수십㎛정도의 비교적 얇은 PZT 압전 다결정막의 제작에 적당한 방법으로 되어 있으나, 이 연구의 결과 두께 수백㎛에서 주파수 수MHz의 초음파센서도 실현가능함을 시사한다. 이는 수열합성법을 사용하여 수MHz~수백MHz의 주파수의 수침형 초음파센서를 자유스럽게 제작하는 수단을 얻은 의미가 있다.

□ 이 연구는 성막 종료 시의 용기 내 온도를 80℃이하로 낮아지기 전에 압력을 낮춰 불순물의 생성을 효과적으로 억제하는데서 결과 획득의 의미가 보인다. 이 방법의 적용은 어려워 보이지 않으며, 수열합성법으로 두꺼운 박막으로도 기능을 구할 수 있음을 알 수 있었다.