질소 첨가에 의한 인상법 실리콘 중의 결정결함 제어

전문가 제언

□ 규소 단결정은 반도체산업의 원조이고 금세기 물질문명의 발전을 가져온 원동력의 모체라고 할 수 있다. 이미 반도체의 기간산업으로 자리를 차지하고 있기 때문에 규소이외의 단결정이 규소반도체를 대체할 수는 없게 되었다. 그것은 규소반도체의 물성이 아니라 원료가 풍부한데서 다른 고체재료에서는 찾기 힘들다는 것이다. 규소단결정을 생산하는 나라는 모두 선진국에 속한다.

□ 정밀소재에 일반적으로 나타나는 불순물의 내용은 산소이다. 반도체의 물성을 조절하기 위하여 불순물을 알맞게 주입하는 기술과 제조할 때에 불순물을 제거하는 기술은 똑같이 어려운 기술이다. 반도체의 물성은 반도체에 불순물을 주입하는 기술과 제거하는 기술에 달려있다고 해도 과언이 아니다.

□ 반도체에 함유되어있는 불순물과 빈 홀, 뒤틀림 등은 모두 격자결함이다. 이 결함은 반도체의 물성에 적지 않는 영향을 끼친다. 이 논문은 규소에 산소가 함유하여 있는 것을 질소를 이용하여 제거하는 아이디어를 발견하여 그 아이디어가 사실과 잘 부합한다는데 큰 연구의 성과라고 본다. 산소는 반응성이 크고 원자이온의 크기가 1.40Å으로 질소의 0.70Å보다 크다. 그런데 질소는 보통조건에서는 반응성이 전무하고 산소보다 작다는 것에 착안하여 연구를 수행한 것 같다. 작은 불활성기체가 큰 활성기체를 추출해 낸다는 원리를 이용한 것 같다. 연구의 내용은 매우 놀라울 정도이나 그 결과의 성과는 계속 연구와 보완이 거듭된 다음에 나타날 것으로 보인다.

저자

Atsushi Ikari

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2003

권(호)

42(7)

잡지명

Materia Japan(N103)

과학기술
표준분류

재료

페이지

521~528

분석자

박*학

분석물

• 질소첨가에 의한 Czochralski Silicon 중의 결정결함 제어.pdf [175,900 byte]

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