플라즈마 CVD법에 의한 금형 수명향상

전문가 제언

□ 프레스 가공에서 무윤활화(無潤滑化)로 가공하고, 다이캐스팅, 틱쇼몰딩에서 금형에 무이형제는 중요한 테마로 되고 있다. 현재 PVD법이나 CVD법으로 각종 세라믹 코팅이나 DLC막이 각종 금형에 적용되고 있으나, 무윤활화 또는 무이형제화에는 도달하지 못하고 있다.

□ 그러나 플라즈마 CVD(PCVD)법은 저온에서 밀착성이 좋고 피복을 구석구석에 잘 칠할 수 있기 때문에, 최근에는 PCVD법에 의한 DLC(S-DLC) 피막이나 TiAlSiCNO계 나노복합체 피막도 개발이 되고 있어, 프레스 가공의 무윤활화나 다이캐스팅, 틱쇼몰딩에 있어서 무이형제화에 크게 공헌할 수 있는 가능성을 보이고 있다.

□ 우리나라에서는 반도체 장비 관련 업체에서 화학증착법(CVD)에 대하여 많은 관심을 가지고 산업화하고 있다. 즉 반도체 장비업체인 주성엔지니어링은 고밀도 플라즈마 화학층착(HDP-CVD)장치에 대한 특허 취득(2004년5월), 주성엔지니어링의 6세대 액정표시용 플라즈마 화학증착창치(PECVD)의 개발 완료로 양산체재 돌입(2003년8월), 삼성전자는200mm HDPCVD를 300mm로 업그레이드하는 작업과 플라즈마 소스를 활용하는 PE(Plasma Enhanced) CVD 등을 추가로 개발해 사업 아이템을 다양화할 것으로 알려지고 있다. 이와 같이 플라즈마를 이용한 CVD의 활용은 다양화하고 있으나 아직까지 금형에 사용하여 금형의 수명을 연장시키는데 기여하는 연구는 착안 못하는 것 같다. 우리나라 학계에서도 CVD법에 대한 발표 논문이 많이 나오고 있으나, 프레스 금형, 다이캐스팅 금형, 틱쇼몰팅 금형 등에 응용하여 내마모성, 내마찰성을 향상시키고, 무이형제화하여 금속제품을 생산한다면 얼마나 편리하고 값싸게 생산할 수 있겠는가를 생각하면 이에 대한 기술개발이 시급하다고 생각한다.

저자

Kazuki Kawata

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2003

권(호)

18(12)

잡지명

형기술(N098)

과학기술
표준분류

재료

페이지

30~34

분석자

이*식

분석물

• 플라즈마 CVD법에 의한 금형 수명향상.pdf [193,261 byte]

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