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첨단기술정보

반도체 산업용 고품질ㆍ고신뢰성 열병합발전 설비

전문가 제언: □ 반도체생산 공장에서는 실리콘웨이퍼가 투입되는 순간부터 나올 때까지 약 250~300개의 공정을 거치며, 이 가운데 초정밀가공이 필요한 곳이 많다. 따라서 순간 전압강하 및 정전 대책의 중요성이 어느 곳보다도 필요하다.

□ 독일의 Infineon사는 일찍이 프랑스 Air Liquide사의 ULTRAPURE 열병합발전설비를 도입하여 이용하고 있다. 우리나라의 전력통계에 의하면 2002년 현재 전자 업종에서 자가발전기를 설치한 곳은 1995년에 경기도 수원의 Samsung Corning에서 설비용량 12,840kW의 발전기를, 그리고 2000년에는 경기도 이천의 싸이스열병합발전(구 현대전자)에서 250,000kW의 열병합발전을 실시하는 것으로 되어 있다.

□ 현재 우리나라의 전자업종의 전문성이나 취급제품의 정밀도에 비해서는 자가용 열병합발전의 도입이 좀 늦은 감이 있으며, 현재로는 가장 성능이 뛰어난 것으로 보이는 가스터빈을 이용하고, 플라이휠식의 UPS를 갖춘 열병합발전의 도입을 권고한다.