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첨단기술정보

용융 실리콘의 점도 측정(Measurement on the viscosity of liquid silicon)

전문가 제언: □ 반도체의 주요 재료인 실리콘의 고온 특성에 관하여 많은 연구 결과가 발표되고 있지만, 측정 장치 및 연구자에 따라 점도 값이 다르게 보고되고 있다.

□ 용융 실리콘의 점도 측정 시 융점 부근에서의 이상 거동 현상은 융액의 온도 불균일에 의한 것으로 추정된다. 이후 점도 측정 시에는 노 내 온도의 균일 여부를 사전에 확인 후 측정하여야 할 것으로 사료된다.

□ Al2O3, BN, Si3O4 등 여러 가지 도가니 재질 중에서, SiC와 흑연 도가니의 경우 재현성 문제에 관해서는 별도의 측정 실험을 통한 추가적인 연구와 원인 규명이 필요하다고 생각된다.

□ 용융 실리콘의 점도 측정을 위해서는 균일한 온도 분포를 갖는 장치의 선택과 실험 조건에 관한 충분한 검토가 사전에 이루어져야 한다고 생각된다.

□ Sato Yuzuru의 용융 실리콘 점도 측정 결과는 많은 연구자들뿐만 아니라 점도 측정 장치 제작자들에게 크게 도움이 되리라고 사료된다.

□ 국내에서는 실리콘의 점도 값을 이용하는 연구는 많지만, 1,400℃ 이상의 용융 실리콘의 고온 저점도 측정에 관한 기초 연구는 매우 부족하다. 이에 관한 추가 연구가 요망된다.