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MEMS기술의 고주파 디바이스에의 응용
- 전문가 제언
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□ 일본정부는 e-Japan전략에 따라 GHz대 응용을 통한 세계 최고 수준의 고도 정보 네트워크 형성을 위해 핵심과제 “제4세대 이동통신 시스템”의 연구개발 사업을 활발히 진행 중이다. 이 계획을 통해 2010년까지 10~100GHz대역의 밀리파통신, 무선인터넷, 초고속 이동통신을 이루고자 하고 있다. 이와 관련하여 RF-MEMS의 중요성이 크게 부각되고 있다.
□ 고주파 부품을 위한 MEMS 기술 응용 분야인 RF-MEMS는 안테나 스위치, RF필터, 공진기, 발진기 등 수동 부품 등에서 이미 MEMS화가 진전되고 있고, LSI부분도 MEMS 집적 부품으로 구성하기 위한 연구개발이 진행되는 추세이다. 이 자료는 고주파 디바이스에 대한 MEMS 기술 응용 현황과 응용 예를 고주파 스위치를 중심으로 다룬 내용이며, 세부 사례로 고주파 스위치 Ohmic형 MMR(Micro Machined Relay)의 구조, 작동원리, 제작 방법을 제시하고 있다.
□ 이 기술과 산업분야에서 일본과 경쟁관계에 있는 국내의 현실을 고려할 때 RF-MEMS 연구개발의 중요성은 매우 크다. 일본의 제4세대 이동통신 시스템 연구개발 사업에 대한 심층 정보 파악과 함께 국내 RF-MEMS 기술개발 활성화가 요구되고 있다.
- 저자
- Koichi IMIANAKA
- 자료유형
- 원문언어
- 일어
- 기업산업분류
- 전기·전자
- 연도
- 2003
- 권(호)
- 54(10)
- 잡지명
- Journal of the surface finishing society of japan(c135)
- 과학기술
표준분류 - 전기·전자
- 페이지
- 650~654
- 분석자
- 박*선
- 분석물
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