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첨단기술정보

MEMS 센서 (MEMS Sensors)

전문가 제언: □ 센서에 MEMS 기술이 적용된 것은 다른 분야의 기술에 비해서 앞서있는데, 소형 저가화를 추구하는 전자공학 기술이 저변을 이루고 있다. 그것은 센서기술 자체가 소량 다품종으로 되어있고, 저가화와 재현성 있고 일관된 공정을 원하는 경향으로 구조자체가 미세화(마이크로화)를 요구하고 있기 때문이다.

□ 센서는 반도체 기술을 기본으로 하고 있다. 따라서 초기의 센서는 소형이 기본이어도 원하는 검출의 정확성을 기하기 위해 디바이스가 커지는 것을 어쩌지 못했는데, 차츰 최적화된 소재의 선정이나 구성 내지 성능의 재현성이 이루어지면서 미세화와 대량생산 및 저가의 소모성 제품으로의 시장을 겨냥하고 있다.

□ 여기서 소개된 가속도센서, 유량센서, 회전센서, 이미지센서는 그 기술이 일본이 앞서있는 것으로 보인다. 우리나라도 MEMS 연구회가 발족하고 기타의 기계 분야 등에도 MEMS에 대한 연구 열기가 활발하며, 경북대와 KIST, 에너지기술연구소 등에서 연구가 이루어지고 있는데, 지속적인 연구와 선진국 수준의 기술 획득이 요청된다.