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첨단기술정보

광MEMS를 위한 표면마이크로가공과 집적화기술(Surface Micro-Fabrication and Integration for OpticaI MEMS)

전문가 제언: □ 광MEMS(Optical MEMS)는 마이크로 광학시스템을 구성하는 각종 부품, 장비와 그 시스템을 의미하며, 중요한 MEMS의 한 영역을 이루고 있다.

□ 이 자료는 일본의 기술지 「표면기술」에서 다룬 특집 “MEMS의 현황과 장래전망”에서 Tohoku대학 정밀 엔지니어링 연구팀이 “광MEMS를 위한 표면 미세가공 및 집적화 기술”을 다룬 내용이다. 연구팀은 실리콘 마이크로가공에 의해 직접 시작(試作)한 광MEMS인 광 스위치, 마이크로 반사경(mirror), 집적형 광 스캐너, 주사형 근접 장광학 현미경(SNOM)용 프로브 등에 대한 기술개념, 시작내용, 그리고 연구개발성과 등에 대해 기술하고 있다.

□ 국내에서는 최근 MEMS기술수요의 증가추세를 보이고 있고 이에 따른 대학, 연구기관, 기업의 MEMS연구가 활성화되고 있는 상황이다. 이 자료는 상대적으로 연구가 활발치 못한 국내 광MEMS연구, 특히 대학과 연구기관의 관련연구 방향설정에 참고가 될 수 있을 것으로 판단된다.