압전소자를 액츄에이터로 하는 무밸브 마이크로펌프

전문가 제언

□ MEMS기술의 발전은 DDS, μTAS 등 의약, 생화학, 생명공학, 환경 등 마이크로유체시스템기술 분야에서 마이크로유체 디바이스의 연구개발수요를 넓혀가고 있다. 예컨대 체내삽입에 의한 인슐린투여용 마이크로펌프는 이미 실용화단계에 들어서 있고, 특히 EU에서 생체조직분석, 화학분석, 환경모니터링을 위한 MEMS-type μTAS 역시 연구단계를 지나고 있는 것으로 분석되고 있다.

□ 이 논문에서 다룬 압전 액추에이터를 이용하는 무밸브 마이크로펌프의 연구는 현재 주요국의 여러 대학과 연구기관의 마이크로시스템 연구그룹의 주요 연구테마 중의 하나이다. 일본 내에서도 산총련(AIST), 동경공대 연구팀 등에서 관련연구논문을 꾸준히 발표하고 있다.

□ 마이크로유로에서의 유체흐름은 매우 작은 규모이기 때문에 점성의 지배를 받고, 점성은 온도의 지배를 받는다. 서로 다른 온도에서서의 점성계수를 사용하여 밸브 없는 마이크로펌프를 개발하고 있다. 또한 유로입구에 열을 가해 기포를 생성시키고 이에 의한 체적변화로 유체를 한 방향으로 보내는 무밸브 마이크로펌프도 연구되고 있다.

□ 국내에서도 1990년대말부터 마이크로펌프에 대한 연구결과를 일부 대학과 기업의 MEMS Lab에서 간헐적으로 발표하고 있다. 또한 최근에는 DDS 또는 μTAS 등 마이크로유체시스템에 대한 연구관심이 고조되고 있는 상황이다. 마이크로펌프를 위시한 마이크로유체시스템의 핵심디바이스 수요에 대응한 연구개발 전략이 필요한 시점이다.

저자

Makoto KIDERA, Hiroshi TSUKAMOTO, Koji MIYAZAKI

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2003

권(호)

31(7)

잡지명

터보기계(B517)

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

51~55

분석자

박*선

분석물

• 압전소자를 액추에이터로하는 무밸브 마이크로펌프.pdf [219,612 byte]

이미지변환중입니다.