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에어로졸 CVD법에 의한 금속산화물의 박막 코팅
- 전문가 제언
-
□ 일반적으로 금속산화물의 박막화 기술은 물질을 고온으로 가열하는 방법, 이온공학기술을 이용하는 방법, 화학반응을 이용하는 방법이 있다.
□ 최근에는 에어로졸 및 미세입자를 응용하는 기술로서 기체 중 입자의 동력학적 특성과 전기적, 광학적 특성을 이용하여 박막 종자의 생성 및 성장, 거동을 제어하여 박막을 제조하는 기술에 대한 연구가 많이 진행되고 있다.
□ Kunisuke Maki 등이 개발한 에어로졸 CVD법은 진공이 필요 없기 때문에 증기압이 높은 기판 등에도 박막을 형성하는 것이 가능할 뿐만 아니라 진공 하에서 박막을 제조하는 진공증착법, 스퍼터링법, 펄스 레이저 증착법 등보다 경제적 우위성을 가지고 있다. 따라서 에어로졸 CVD법의 확립은 생산기술면에서도 기대가 된다고 본다.
□ 그러나 에어로졸 CVD법을 확립하기 위해서는 Kunisuke Maki등이 지적하는 바와 같이 임의의 조성과 구조를 가진 박막이 성장하는 메커니즘이 이론적으로 해명되어야 한다.
○ 에어로졸을 구성하는 액적(液滴)으로부터의 용매의 증발, 용질의 분해와 금속 원자 및 산소와의 화학반응 및 결정구조의 구축, 성장 종자 이외의 분자를 배제하는 등의 프로세스가 열확산이나 대류 등의 물질 수송에 있어서 어떻게 동시 또는 시계열적으로 관련되는가가 규명되어야 한다.
- 저자
- Kunisuke Maki; Keisuke Unosawa; Asako Suzuki
- 자료유형
- 원문언어
- 일어
- 기업산업분류
- 재료
- 연도
- 2003
- 권(호)
- 55(11)
- 잡지명
- 기계의연구(A062)
- 과학기술
표준분류 - 재료
- 페이지
- 1128~1134
- 분석자
- 황*일
- 분석물
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