* 나노미터의 계측과 위치결정

전문가 제언

□ 나노 테크놀로지는 나노미터 스케일로 원자, 분자를 개별로 제어 배치하여 새로운 기능과 특성을 실현 하는 기술의 총칭이다. 나노미터 수준의 계측이나 위치 결정은 기계기술의 기반기술로서 매우 중요하다.

□ 초정밀 위치결정 기술은, 변위센서 등의 계측기술, 액추에이터, 운동전달요소, 안내요소 및 제어기술 등 폭넓은 기계기술의 집대성이며, 각각의 기술진보 없이는 달성이 불가능하다. 해설기술은 나노미터 수준의 계측과 위치결정 기구설계를 수행하기 위한 기초적인, 그러나 중요한 기본원리 및 기술에 대하여 해설하고 있다.

□ 제어방법에 대하여는 기술하지 않았지만, 최근, 복잡하고 어려운 것 같은 새로운 제어가 유행하고 있지만, 기본적으로는 대부분 고전적인 PID제어로 완료되는 것이다. 초정밀 위치 결정의 챔피언 스텝이라 말해도 기본은 PID제어이며, 약간의 진동 대책에 대하여 최신 제어이론이 응용되고 있는 것에 지나지 않는다.

□ 나노 테크놀로지는 독창적인 기술의 출현에 의해 현실화 되어가고 있지만, 다양한 기술의 집대성이기도 하기 때문에 , 종래의 기술 개량도 중요한 테마가 되고 있다. 이와 같은 나노 테크놀로지를 지지하는 기술로서 앞으로 더욱 고정밀 위치결정이나 측정기술의 유용성이 증대될 것으로 생각한다.

저자

Takaaki Oiwa

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2003

권(호)

55(8)

잡지명

기계의연구(A062)

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

815~824

분석자

정*갑

분석물

• 나노미터의 계측과 위치결정.pdf [323,673 byte]

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