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첨단기술정보

1nm 분해능의 소형 변위센서와 소형 초정밀 위치결정 장치의 개발

전문가 제언: □ NT(Nano Technology)를 응용하는 초정밀 위치결정 디바이스는 여러 종류의 현미경에 사용되기 때문에 소형이어야 한다.

□ 이 연구에서는 첫째로, 대단히 적은 1nm의 해상도를 갖는 변위 센서를 피드백 센서로 사용 할수 있게 개발하는 것이다. 광학회절에 적용되는 센서는 유동 그레이팅과 고정 인덱스 그레이팅 사이에서 작은 사이즈와 큰 갭 관용을 갖는 이점이 있다.

□ 두 번째로, 이러한 용도의 센서를 사용하는 의지로 1nm 분해능을 갖는 소형의 초정밀 위치결정 디바이스를 개발하여 타 제품과의 차이점을 제시하면서 그 내용을 소개한다.

□ 이는 길이 60mm, 폭 60mm의 소형의 스테이지가 큰 조정 위치결정을 위하여 스테핑모터와 볼 스크루에 의해서 움직이고, 다음으로 정밀조정을 위하여 PZT에 의하여 움직인다. 이들의 응답은 반복된 실험으로 편차오차가 0.04nm, 왜곡오차가 0.49nm인 결과를 얻었다.