범용 정밀 항온 항습실의 계획

전문가 제언

□ 크린룸을 비롯하여 항온 항습장치는 많은 산업에서 없어서는 안 되는 설비들이다. 항온항습장치는 산업의 발달과 밀접한 관계를 가지며 요구하는 기술 수준도 점점 엄격해 지고 있다. 반도체를 비롯한 전자공학, 컴퓨터공학 기계전자공학, 정밀제품산업 등의 관련 산업들은 발전과 함께 공통적으로 고도의 청정 환경을 필요로 하여 클린룸(Clean Room)과 항온항습장치가 급속하게 발전을 이루었다.

□ 반도체 산업이나 초정밀제품 제조에 있어 클린룸은 클래스 1,000에서 100으로 또 클래스 10까지 청정도가 요구되고 있으며 온, 습도의 요구 정도도 높아지게 되어 ±1℃에서 ±0.5℃로 더 나아가서 ±0.1℃까지도 요구되고 있다.

□ 본문은 제어 온도범위 ±0.1℃ 이하의 초정밀 온도 조절실이나 대규모 온도 조절실의 항온항습을 범용 기기로 조정하는 예를 실례를 들어 설명하고 있다. 건식 제습기와 블리드인(Bleed-in) 칠드워터 시스템 및 PLC를 이용한 예측형 항온 제어시스템으로 효율적인 장치를 설계 공급하고 있다. 또한 천정 다공판 취출 시스템(Ceiling Plenum Chamber System, CPCS)을 이용하여 실내의 공기 교란을 최소로 유지하면서 급기할 수 있는 새 시스템을 소개하고 있다.

□ 항온항습시스템은 그 수요 증가에 맞추어 상당한 기술수준이 확립된 상태로서 앞으로의 과제는 수요자가 원하는 시스템에 최적의 장비를 합리적인 가격으로 공급하고 또한 이 시스템은 하루 24시간 일년 내내 운전해야 하는 특성 상 운전비용 절감 특히 에너지비용을 특별히 고려해야 하는 점 등을 고려해야 한다. 이 시스템에 사용할 수 있는 기기나 제어장비는 상당한 범위로 범용기기로서 공급되고 있으므로 현장 조건을 잘 파악하여 적절히 조합하면 효율적이고 경제적인 설계가 가능할 것이다.

저자

Y.Masuko, N.Okazaki

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2003

권(호)

78(913)

잡지명

냉동(A071)

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

26~30

분석자

이*옹

분석물

• 범용 정밀 항온 항습실의 설계.pdf [170,653 byte]

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