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첨단기술정보

* 정밀온도제어 챔버

전문가 제언: □ 온도제어 정도가 ±0.01℃ 정도인 종래의 항온 시스템을 냉수측 및 공기측에 제어기기와 온도제어 방법을 검토하여 냉수측 가열제어와 공기측에 2단 캐스케이드 가열제어 시스템을 적용, 온도 제어성능이 ±0.003℃인 항온 챔버(실제에서는 ±0.002℃)를 실용화한 기술 내용이다.

□ 반도체 생산공정을 비롯한 BT분야 등에서도 제어정도가 높은 항습을 필요로 한다. 온도 제어 범위를 약간만 넓혀도 상대습도는 크게 변화하므로(대략 1℃ 변화에 상대습도 3%로 변함) 항온과 더불어 항습도 병행 연구가 필요하다.

□ 크린룸은 물론 사이드 플로식 항온 챔버에서의 수평 층류 급기방식은 기류 끝 부분일수록 분진이 고농도가 되는 것에 유의하여야 하며 LSI 생산 공정에서 비용 문제로 유닛형 또는 패키지형 크린룸만 수평 층류 급기방식을 적용하는 경우 참고 할 수 있을 것이다.

□ 우리나라의 세계 반도체 시장 규모와 BT분야의 활발성을 보아 고정도 항온 항습제어 시스템을 수입에 의존할 것이 아니라 국산화의 투자와 연구가 시급하다고 사료된다.