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첨단기술정보

* 항온식 클린룸의 정밀 온도제어

전문가 제언: □ 정밀한 실내온도제어가 요구되는 경우 부하 응답성을 높이기 위해 보통 과냉 재열방식으로 하나 물이 열용량이 큰 관계로 초 정밀한 온도제어를 하는데 어려움이 있다. 따라서 일차측의 냉수 온도 변동 폭을 공조기내에 독립된 냉수 순환계와 열교환기로 하여금 변동 폭을 흡수하게 하여 클린룸 실내온도를 초정밀 온도제어를 하도록 하고 있다．

□ 타 방식에 비하여 재열원을 전기 히터에 의존하지 않고 급기팬의 배열을 회수 이용하는 것은 에너지 절약면, 운전비용, 초기 비용면에서 우수하고 또 전열성이 우수한 판형 열교환기(팬 배기열 공기와 냉수열)를 채택하고 있으나 동절기를 기준하여 클린룸의 부하 추종에 대한 정량적인 응답을 하기위한 충분한 가열 용량을 갖추었는지 면밀한 검토가 필요하다．

□ 우리나라의 세계 반도체 시장 규모와 BT분야, 특수 정밀가공분야, 제약분야 등에서 점차 마이크로화로 되어가고 있고 이에 따른 항온 항습제어 시스템도 수입에 의존하고 있는바 고정밀 항온항습제어 시스템에 대한 국산화의 연구와 투자가 필요하다고 사료된다.