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첨단기술정보

크린룸 분위기에서 실리콘 표면에 흡착유기물의 상세 측정

전문가 제언: □ DOP는 C6H4(COOC8H17)2인 에스테르, 카르복실의 방향족 화합물로 성분은 Di(2-Ethylhexyl)phthalate로 거의 무색, 무취 또는 엷은 황색의 유성액체이며, 동물에서 암을 유발시키는 물질을 함유하며 암의 위험, 발암의 위험은 접촉 기간과 정도에 의존한다.

□ 음료수로 사용하고 있는 상수나 지하수는 우리들의 건강을 위해서 고감도의 GC를 사용해서 유기 할로겐화합물의 모니터링을 하고 있다. 염소 처리에 의해서 생기는 미량의 트리할로겐 화합물들과 함께 계절이나 지역에 따라서 이상한 성분에 대해서는 정성분석이 불가능 하였다. 이때 GC/MS는 미지의 화합물의 정성분석에 대해서 대단한 위력을 발휘할 수 있는 것으로 보인다.

□ 또한, Hepa FIlter는 25.4㎜Aq 보다 더 작은 물방울 압력에서 0.3㎛의 DOP 분진에 대해 99.97% 이상의 여과 효과를 가지고 있다. Hepa Filter는 밖으로 새어나간 분진을 차단하여 클린룸의 효과적인 관리가 가능하게 해줄 것으로 보이며, 응용분야로는 원자력 공장, 반도체 분야, 전기광학, 병원, 의료기기 생산 공장, 음식 가공 공장, 농작물 재배업체 등으로 사료된다.