* 클린룸에서 에너지절약과 새로운 시스템의 적용

전문가 제언

□ 반도체산업, 의료 약품 등 정밀공업에 클린룸 설비도입은 1990년 이후 매우 활발히 이루어져서 소규모 클린부스부터 대규모 클린룸에 이르고 있다. 특히 첨단 반도체산업의 강국으로 등장한 우리나라는 그 지원 설비인 반도체장비와 클린룸 설비분야도 동반 성장하고 있어서 시장규모가 점차 확대되고 있다.

□ 그러나 근래 와서야 첨단 클린룸장비 및 공사를 일부 국내업체에서 공급하고 있으나, 아직도 제조장비와 재료는 청정화기술속도가 상대적으로 매우 늦은 편 이어서 장비와 고성능필터는 대부분 수입에 의존하고 있는 상태이다. 여기에 더하여 클린룸의 운전비용 또한 고청정도를 요구할수록 커져서 에너지비용, 특히 공조비용은 일반건물의 수십배에 달하여 요즘 같은 고유가시대에 에너지비용은 원단위의 상승으로 제품의 경쟁력에 까지 미치는 영향이 매우 커졌다.

□ 클린룸의 공조부하는 일반건물의 15~20배에 이르고 외기부하는 전체부하의 절반에 해당하여, 국내에서도 배기를 이용한 전열교환기의 개량으로 30%에 가까운 에너지절감실적을 올리고 있는 사례도 있다.

□ 클린룸에서 에너지절약대책엔 여러 가지가 있겠으나, 실내의 차압을 검출하여 실압 유지만큼의 급배기를 하는 변유량 제어 방식이 확대도입 되어야 할 것이며, 냉방부하를 줄이기 위해 실내온도의 미세제어를 위한 새로운 제어시스템의 개발도 유력한 방안이 될 수 있다고 본다.

□ 다음 하절기의 냉방수요 피크를 줄이기 위해 빙축열냉방 등을 도입하여 냉방기의 용량자체를 줄여서 기본수전용량 도 줄이고, 압력손실을 최소화하는 고성능필터도 개발하는 등 다각도로 에너지절약기술을 개발해야할 것이다. 더욱이 이러한 에너지절약기술을 모두 반영시킨 클린룸의 종합운용시스템의 개발로 반도체장비 및 시설을 수출전략화를 목표로 하는 산 관학의 협조체제가 이루어졌으면 한다.

저자

Kensi isumi

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

에너지

연도

2003

권(호)

(634)

잡지명

산업기계(A068)

과학기술
표준분류

에너지

페이지

27~30

분석자

차*기

분석물

• 클린룸에서의에너지절약과신제어시스템의적용.pdf [170,194 byte]

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