고감도 암모니아 모니터 시스템

전문가 제언

□ 암모니아 가스는 IC 프로세스에서 레지스터와 반응하여 정확을 요하는 패터닝에 이상을 줄 수 있고, 산성가스와 반응하여 염을 발생시키기 때문에 반도체 제조공정과 하드디스크 제조공장, 액정 제조공장 등 IT 산업에서는 암모니아에 의한 오염문제가 대단히 중요하다.

□ 반도체 공정에서 적은 농도의 암모니아를 분석하는 데는 심층 분석기기인 이온 크로마토그래프에 의하는 수가 많다. 클린룸 내의 저 농도 암모니아의 분석은 이 방법이 신뢰성이 높고 더욱이 광범위한 측정이 되어서 전문분야의 장점은 있으나, 전문기술의 습득이 필요하고, 분석설비도 대형화하고 고가이어서 손쉽고 간편하게 할 수 없는 점이 있다.

□ 일본의 Ebara Corporation(荏原)에서 제시하는 이 시스템은, 이온 크로마토그래프와의 상관성이 높으면서 또한 취급이 간편한 암모니아가스 모니터를 제품화 한 것에 대한 소개이다.

□ 분석원리가 검지테이프 광전 광도 법에 의하는 것으로, 검지테이프의 LED광조사 전후의 수광 다이오드에서의 전압의 차이를 검지한다. 테이프의 자세한 소재의 설명이 없어 정확도의 가늠이 불확실하나, 오차의 범위는 좀 넓은 허용을 주는 것으로 보인다. 그러나 클린룸 같은데서 계속적인 모니터링을 하는 장치이므로 다소 정확성의 처짐이 있어도, 트렌드를 읽을 수 있는 점에서 유용성이 인정된다.

저자

H. Sekiguchi

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2003

권(호)

(634)

잡지명

산업기계(A068)

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

7~9

분석자

손*목

분석물

• 고감도 암모니아 모니터 시스템.pdf [166,731 byte]

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