MEMS 물질의 인장시험 - 최근의 발전동향(Tensile testing of MEMS materials - recent progress)

전문가 제언

□ MEMS에 사용되는 물질들과 같이 수 마이크론 미터 두께의 박막은 벌크 상태로 있을 때와는 다른 물성을 보이는데, 이는 부피가 작아짐에 따라서 벌크 상태에서는 거의 무시되던 표면에너지와 같은 물리적인 특성들이 두드러지기 때문으로 추정된다.

□ 따라서 MEMS에 사용되는 크기의 물질들에 대한 정확한 기계적인 특성을 아는 것이 MEMS를 개발하거나 생산하는 이들에게는 대단히 중요하다. 즉, 실리콘, 폴리실리콘, 질화규소(Silicon Nitride)와 몇 가지 금속들은 MEMS나 자동차의 에어백을 작동시키는 가속계(Accelerometer)와 같은 소형 장치들에 사용기 때문에 이들 장치들이 안전하고도 신뢰성 있게 작동하려면, 여기에 사용되는 박막(薄膜)들의 물성이 균일해야할 뿐만 아니라 그 값을 정확하게 알아야 한다.

□ 그러나 두께가 오직 수 마이크론 미터 박에 안 되는 물질의 기계적인 특성을 정확하게 측정하는 것은 대단히 어렵다. 그동안에는 캔틸레버 빔(Cantilever Beam)이나 다이아프램 벌지(Diaphragm Bulge) 시험과 같은 간접적인 방법으로 측정해 왔으나, Johns Hopkins 대학의 Sharpe 교수 팀은 직접인장시험장치를 개발하여 MEMS 물질들에 대한 기계적 특성을 측정하여, 그 값들을 다른 방법에 의해서 얻은 값들과 비교해본 결과 그들이 개발한 직접인장시험기법이 상당히 정확하다는 것을 입증하였다는 점에서 주목을 받을만한 연구업적이라고 평가된다.

저자

Sharpe, W. N., Jr.; Bagdahn, J.; Jackson, K.; Coles, G.

자료유형

원문언어

영어

기업산업분류

재료

연도

2003

권(호)

38(20)

잡지명

Journal of materials science

과학기술
표준분류

재료

페이지

4075~4079

분석자

이*웅

분석물

• MEMS 물질의 인장시험 - 최근의 발전동향.pdf [177,274 byte]

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