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전자세라믹 산화물의 화학기상증착에 대한 최근의 동향(Some recent developments in the chemical vapour deposition of electroceramic oxides)
- 전문가 제언
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□ 전자 세라믹 산화물은 우수한 물성 때문에 그 연구 가치가 무궁무진하다고 할 수 있으며, 그 우수한 물성을 완전히 구현하기 위해서는 그에 맞는 전구체를 목적에 맞게 자유롭게 맞춤형태로 제조할 수 있는 기술을 확보하는 것이 중요하다.
□ 유기금속화학기상증착과 원자층증착에 사용되는 전구체는 기화온도, 증기압, 열적안정도, 광분해도, 수분활성도면에서 우수한 성질을 가지고 있어야한다. 특히, 전구체의 중심에 위치하는 전이금속의 성질에 따라 좀 더 복잡한 구조의 리간드를 이용하는 것이 유리하다.
□ 전이금속은 d오비탈과 f오비탈에 전자가 채워지는 특성이 있다. 특히 7주기의 전이금속의 경우에는 대체로, 결합수를 6에서 최대 8까지 늘이려는 성질을 가지고 있다. 이러한 중심금속의 성질을 억제하기 위해서는 변형된 베타다이케토네이트 계열의 리간드를 사용하는 것이 필수불가결하다고 볼 수 있다. 또한 그 외에도 새로운 리간드를 이용하는 연구가 계속해서 시도될 필요가 있다.
□ 전구체의 변형 및 합성에 관련하는 화학자 집단, 전구체를 이용하여 공정 변수를 설정하는 부분에 관련하는 화학공학자 집단, 증착된 물질의 기계적, 전기적 물성을 측정함과 동시에 그 물성의 향상에 기여하는 재료공학자 집단, 새로운 물질을 소자에 접목시키는 부분에 관련하는 전기/전자공학자 집단 간의 체계적인 소통체제와 열정적인 협력체제가 구축된다면, 전자 세라믹 산화물 연구가 더욱 가속될 수 있을 것이다.
- 저자
- Jones, Anthony C.; Chalker, Paul R.
- 자료유형
- 원문언어
- 영어
- 기업산업분류
- 재료
- 연도
- 2003
- 권(호)
- 36(6)
- 잡지명
- Journal of Physics D: Applied Physics
- 과학기술
표준분류 - 재료
- 페이지
- 80~95
- 분석자
- 황*룡
- 분석물
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